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PLD真空镀膜设备技术指标

2022/07/16132 作者：佚名
导读：三个高真空腔室独立运行，最低真空：10^-7Pa，最高温度：800℃。

三个高真空腔室独立运行，最低真空：10^-7Pa，最高温度：800℃。

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