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Si/Si3N4/SiO2三元体系高温界面反应机理及润湿熔渗行为研究结题摘要

2022/07/16231 作者:佚名
导读:在定向凝固多晶硅铸锭生产过程中,由于带Si3N4涂层的石英坩埚壁与硅铸锭发生粘连、污染而导致大尺寸Si铸锭中一级品切出率过低,是该行业长期未解决的技术难题。这表明涂层材料体系和结构不尽合理,本质原因在于Si/Si3N4/SiO2三元体系高温界面反应机理不清楚。针对以上问题,本课题首先制备出相含量、氧含量、颗粒尺寸与形态可控的Si3N4粉体,而后明确了Si熔体对Si3N4/SiO2润湿过程的控速环节

在定向凝固多晶硅铸锭生产过程中,由于带Si3N4涂层的石英坩埚壁与硅铸锭发生粘连、污染而导致大尺寸Si铸锭中一级品切出率过低,是该行业长期未解决的技术难题。这表明涂层材料体系和结构不尽合理,本质原因在于Si/Si3N4/SiO2三元体系高温界面反应机理不清楚。针对以上问题,本课题首先制备出相含量、氧含量、颗粒尺寸与形态可控的Si3N4粉体,而后明确了Si熔体对Si3N4/SiO2润湿过程的控速环节与Si/Si3N4/SiO2界面反应的关系,揭示了Si3N4 多孔涂层的结构特征对Si/Si3N4/SiO2界面行为的影响机制。针对Si3N4粉末的三个重要性能特征(α/β 相组成、粒度、颗粒形貌),提出在石英坩埚内壁制备多孔Si3N4 涂层的结构设计原则。用燃烧合成法制备出单相Si2N2O粉体,成功开发出与高温Si熔体不反应、不润湿的新型Si2N2O脱模剂材料,从而可以达到提高一级品的目的。该涂层材料有望代替传统α-Si3N4材料在太阳能级多晶硅铸锭制备工艺中得到应用。 2100433B

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