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TiN/Si3N4纳米复合薄膜及其深孔狭缝表面附着强度的研究中文摘要

2022/07/16243 作者：佚名
导读：着眼于TiSiN薄膜微观组织结构及其优化设计，掌握脉冲直流等离子体辅助化学气相沉积制备ne_TiN/α-Si3N4纳米复合薄膜的原理和技术关键。探讨外表面和深孔狭缝内表面镀膜的组织性能差异及其制约机制。通过模拟样品和实物样品的对比分析，重点考察内表面镀膜的均匀性和附着强度，据此提出强韧性与附着性完美结合的TiSiN硬质薄膜类型及其应用于复杂型腔的示范模型。 2100433B

着眼于TiSiN薄膜微观组织结构及其优化设计，掌握脉冲直流等离子体辅助化学气相沉积制备ne_TiN/α-Si3N4纳米复合薄膜的原理和技术关键。探讨外表面和深孔狭缝内表面镀膜的组织性能差异及其制约机制。通过模拟样品和实物样品的对比分析，重点考察内表面镀膜的均匀性和附着强度，据此提出强韧性与附着性完美结合的TiSiN硬质薄膜类型及其应用于复杂型腔的示范模型。 2100433B

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