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主要用于对样品表面进行元素种类测定、同种元素不同化学状态定性及定量分析等方面的表征。XPS的工作原理是用光子能量在1000~1500ev之间X射线去辐射样品,使原子或分子的内层电子或价电子受激发射出来成为光电子,测量光电子的能量,以光电子的动能/束缚能binding energy,(Eb=hv光能量-Ek动能-w功函数)为横坐标,相对强度(脉冲/s)为纵坐标可做出光电子能谱图,从而获得试样表面化学状态的有关信息。 2100433B