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本X射线光电子能谱仪测试系统为带有多种功能的综合性光电子能谱分析平台。该系统可在极高真空下，通过配备的X射线光源以及紫外光源，在样品表面激发光电子，再通过高精度探测器捕获分析，得到相应的光电子能谱。可用于目标样品的元素组成分析、表面化学状态分析、表面原子电子状态分析。通过系统搭载的Ar离子溅射系统，可对样品表面下一定深度处进行分析。此外本系统还搭载了高真空电子束加热装置，可对样品做原位退火分析。为化学、材料方面的研究提供了可靠的测试手段。 2100433B
