x射线光电子能谱系统组件
2022/07/16180
作者：佚名
导读：一台商业制造的XPS系统的主要组件包括： X射线源 超高真空不锈钢舱室及超高真空泵 电子收集透镜 电子能量分析仪 μ合金磁场屏蔽 电子探测系统 适度真空的样品舱室 样品支架 样品台 样品台操控装置
一台商业制造的XPS系统的主要组件包括：
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X射线源
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超高真空不锈钢舱室及超高真空泵
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电子收集透镜
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电子能量分析仪
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μ合金磁场屏蔽
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电子探测系统
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适度真空的样品舱室
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样品支架
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样品台
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样品台操控装置
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