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1972年,《控制微电机》创刊。
1975年,该刊以季刊发行。
1981年,该刊更名为《微电机》。
1998年,该刊刊期由季刊改为双月刊。
2007年,该刊刊期由双月刊改为月刊 。
2014年12月,该刊成为中国原国家新闻出版广电总局第一批认定学术期刊 。