据2020年8月17日中国知网显示，《微电机》共出版文献6601篇 。
据2020年8月17日万方数据知识服务平台显示，《微电机》共载文4902篇、基金论文量为1614篇 。
《微电机》是北京大学《中文核心期刊要目总览》来源期刊（1992年第一版，1996年第二版，2000年版，2004年版，2008年版，2011年版，2014年版，2017年版）、中国科技论文统计源期刊、中国科技期刊引证报告统计源期刊、中国核心期刊数据库统计源期刊、中国科学引文数据库来源期刊、中国学术期刊综合评价数据库源期刊，被中国学术期刊（光盘版）、中国科技论文与引文数据库（CSTPCD）、机械工业网络信息系统、中文科技期刊数据库、中国核心期刊（遴选）数据库、中国期刊网、万方数据系统等收录 。
据2020年8月17日中国知网显示，《微电机》总被下载1120154次、总被引35534次，（2019版）复合影响因子为0.538、（2019版）综合影响因子为0.275 。
据2020年8月17日万方数据知识服务平台显示，《微电机》被引量为33771次、下载量为283482次；据2018年中国期刊引证报告（扩刊版）数据显示，《微电机》影响因子为0.35，在全部统计源期刊（6719种）中排第4812名。 。
《微电机》是《Caj-cd规范》获奖期刊 。
