图1示意性地示出了根据《低频或超低频振动测量套件》实施例的低频或超低频振动测量套件100的示意图。如图1所示，低频或超低频振动测量套件100包括挠性加速度计110、适调放大器120和稳压电源部件130。挠性加速度计110用于感测低频或超低频振动，并根据所感测到的低频或超低频振动产生低频或超低频振动信号。适调放大器120对挠性加速度计110所感测到的低频或超低频振动信号进行放大，可选地还对所感测到的低频或超低频振动信号进行滤波，并输出被放大和滤波的信号。由于低频或超低频振动测量要求适调放大器120本身应具有极低的电路噪声。而普通线性电源的纹波噪声在1～5毫伏左右，中间还夹杂例如为50赫兹的工频干扰，因此如果利用普通电源给适调放大器120提供电源，则对微弱信号的测量非常不利。针对此种情况，根据该发明的稳压电源部件130提供了低噪声和低纹波的稳压电源。利用来自稳压电源部件130的电源，适调放大器120的本底噪声被显著降低了，并且也去除了工频干扰，因此，适调放大器120可以输出准确的低频或超低频振动信号。

可选地，稳压电源部件130也可以给挠性加速度计110提供电源，从而可以减少挠性加速度计110所感测到的低频或超低频振动信号中的噪声，以进一步提高低频或超低频振动测量套件100的精确度。

下面，将结合附图2-6来详细描述低频或超低频振动测量套件100中各个部件。

图2示意性地示出了挠性加速度计110的示意图。如图2所示，挠性加速度计110通常为石英挠性加速度计，但是可以在《低频或超低频振动测量套件》的范围之内应用其他挠性加速度计。挠性加速度计110包括差动电容传感器111、力平衡放大器113、电磁力矩器114和振动信号输出115。如图所示，差动电容传感器111具有位于电容器中间的质量摆112。质量摆112靠挠性平桥（未示出）支撑，它使得加速度计在输入轴方向的刚度最小（近乎呈自由的无约束状态），而在其它方向的刚度极大。因此，当沿着加速度计的输入轴方向有由于振动而导致的加速度作用时，质量摆112的位置发生变化，从而使差动电容传感器111的电容值发生变化。力平衡放大器113耦接到差动电容传感器111，因此可以检测差动电容传感器111的电容值变化，并根据该变化产生再平衡电流加给电磁力矩器114，而电磁力矩器114产生的电磁力矩又使质量摆112回到原来的位置。振动信号输出115耦接到力平衡放大器113以根据再平衡电流来产生代表所感测到的加速度的信号。由于低频或超低频振动会导致挠性加速度计所感测到的加速度的变化，因此，振动信号输出115所产生的信号也代表了低频或超低频振动，并也可以称为低频或超低频振动信号。振动信号输出115可以以电流方式或者电压方式提供低频或超低频振动信号。所有这些方式都在该发明的保护范围之内。

应当注意的是，力平衡放大器113通常为有源放大器，其通常需要电源输入，而电源的稳定性可以影响所产生再平衡电流的稳定性，因此，根据《低频或超低频振动测量套件》的一个实施例，力平衡放大器113也由稳压电源部件130提供电源。

还应当注意的是，虽然图2中给出了挠性加速度计的一个实例，但是该领域技术人员应当理解，《低频或超低频振动测量套件》不限于此，所有可以以电流方式或者电压方式提供低频或超低频振动信号的挠性加速度计都在该发明的保护范围之内。

根据《低频或超低频振动测量套件》的一个实施例，挠性加速度计110的灵敏度为1.2～1.4毫安/克，因此由挠性加速度计110产生的信号微弱。通常使用挠性加速度计110的低频或超低频振动台在振动频率较低时，推力小，受外界如电噪声、噪音和机械噪声等干扰非常严重。因此，如果不采用放大和滤波等手段，由挠性加速度计产生的低频或超低频振动信号将完全淹没在噪声之中。

图3和4示意性地示出了适于在根据《低频或超低频振动测量套件》的低频或超低频振动测量套件中使用的适调放大器120的示意图和特定的电路图。如图3所示，适调放大器120具有用于接收低频或超低频振动信号的输入端121。输入端121可以是接收电流信号的输入端121_1或者接收电压信号的输入端121_2。如果输入信号为电流信号，则适调放大器120还具有耦接到输入端121_1的电流电压变换器122，用于将所接收的电流信号转换为电压信号。

适调放大器120所接收的低频或超低频振动信号具有静态分量和动态分量。静态分量即在没有振动时低频或超低频振动信号的值，一般而言，静态分量不是恰好为零值，而动态信号即在感测到低频或超低频振动时的信号变化，其通常在静态分量值的上下震荡。而对于信号处理而言，消除静态分量，即将信号中的静态分量值降低为零具有明显的优点。为此，适调放大器120还内设有调零电路123。调零电路123提供了电压基准原，其电压值与所接收的电压信号（或者转换后的电压信号）中的静态分量相对应。适调放大器120还包括耦接到输入端121和调零电路123的减法器124。减法器124接收表示低频或超低频振动的电压信号和调零电路123提供的基准电压，并从表示低频或超低频振动的电压信号中减去基准电压以提供待放大的电压信号。此时，待放大的电压信号的静态分量被调整为零，即电压信号变为在零值附近震荡的信号，这特别适合于后续信号处理。

适调放大器120随后包括多级放大器125，其耦接到减法器124的输出端以获取待放大的电压信号并对该电压信号进行放大。可以利用选通开关来选择多级放大器之一来对电压信号进行不同倍数的放大，以适应于不同的应用环境。根据《低频或超低频振动测量套件》的一个实施例并如图4所示，适调放大器120具有5级串联连接的10倍直流放大器125_1，...125_5，每级放大器的输入通过选通开关连接到多级滤波器126的滤波输入端。因此，放大器125可以提供×1、×10、×100、×1000、×10000或者×100000的放大输出，而且可以根据实际应用条件选择上述放大倍数之一。

可选地，多级滤波器126接收被多级放大器125放大后的信号，并对该放大后的信号进行滤波。多级滤波器126可以提供多种滤波方式，以便根据实际应用条件选择滤波方式之一。例如，如参考图4所述的那样，多级滤波器126为二阶多级有源低通滤波器，其可以提供无滤波、0.02赫兹、0.2赫兹、2赫兹或者20赫兹的低通滤波方式。在实际应用中，可以根据具体情况选择适当的滤波方式，以有效滤除低频或超低频振动信号中的噪声。

随后，适调放大器120输出经过多级滤波器126处理的信号作为低频或超低频振动信号。

应当注意的是，在适调放大器120中，有多个部件，例如但不限于调零电路123、多级滤波器126或者电流电压变换器122等都需要电源供应，而低频或超低频振动测量要求适调放大器120本身应具有极低的电路噪声。普通线性电源的纹波噪声在1～5毫伏左右，中间还夹杂50赫兹的工频干扰，这对微弱信号的测量非常不利。因此，需要专门设计的电源部件以向适调放大器120提供低噪声、低纹波的稳压电源。根据《低频或超低频振动测量套件》的一个实施例，稳压电源应当满足在±15伏输出的条件下，纹波峰峰值仅为微伏级。这可以降低适调放大器120的本底噪声，去除50赫兹的工频干扰，为后续的信号处里和测量提供了有力的保证。

图5和图6示意性地示出了适于在根据《低频或超低频振动测量套件》的低频或超低频振动测量套件100中使用的稳压电源部件130的示意图和示例电路图。如图5和图6所示，稳压电源部件130具有输入端131用于接收传统交流电源，如220伏，50赫兹的交流电源。所接收的交流电源经由单相桥式整流电容滤波电路132过滤为直流但是电压波形不稳的电压信号。随后，该电压信号由耦接到电容滤波电路132的一级稳压部件133和耦接到一级稳压部件的二级稳压部件134进行稳压。二级稳压部件134还向一级稳压部件133提供反馈以构成反馈式跟踪稳压电路，由此可以降低电压波动。经过稳压的信号由耦接到二级稳压部件134的π滤波电路135进行进一步处理以去掉信号中的高频噪声。根据该发明的实施例并如图6所示，π滤波电路135具有LC结构，然而其他结构的π滤波电路135也在该发明的保护范围之内。此时所获得的电源信号已经可以较好地满足《该发明的应用。但是为了进一步稳定电源信号的电压幅值，可以再进行一次稳压，即在π滤波电路135之后耦接三级稳压部件136以便进一步对电源电压进行稳压，从而提供纹波噪声小的、纯净稳定的直流电源到电源输出端137。