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建设工程知识

垂直退火炉主要功能

2022/07/16159 作者：佚名
导读：用于8inch硅晶圆高温氧化与SOI晶圆高温加固；工作温度：600~1200 ℃；恒温区控温精度：±1℃；升降温速度：max：5 ℃/min；可通入氮气、氧气、氢气： 、Trans_LC Carrier等工艺气体；氧化层均匀性：干氧、湿氧氧化层均优于2%；表面金属5E10 atmos/CM2；表面颗粒：Particle 30ea (0.16µm) per wafer。 2100433B

用于8inch硅晶圆高温氧化与SOI晶圆高温加固；工作温度：600~1200 ℃；恒温区控温精度：±1℃；升降温速度：max：5 ℃/min；可通入氮气、氧气、氢气： 、Trans_LC Carrier等工艺气体；氧化层均匀性：干氧、湿氧氧化层均优于2%；表面金属5E10 atmos/CM2；表面颗粒：Particle 30ea (0.16µm) per wafer。 2100433B

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