1930年，美国制造“干冰”就在实验室中做试验用。

1945年，美国海军将干冰作为喷射介质，清除各种油脂。

1963年，雷金纳德·林德利用喷射二氧化碳颗粒的办法“从骨头上剔除肉”，获得一项专利。

1972年，埃德温·瑞斯以“喷射高速干冰颗粒从物体上往除残余部分”的办法，而获得一项专利。

1977年，卡尔文·冯以“用可挥发性颗粒介质进行喷砂”获得专利。

80年代初，美国利用干冰颗粒喷射弹道轨迹和低温龟裂之原理，解决了军事领域卫星导航系统、核动力发电系统设备清洗维护及特殊需求。其时制冰机外观粗糙、体积庞大，重约60多吨，而且干冰颗粒制造效率很低，硬度不高，规格尺寸单一，使其利用受到很大限制。

80年代末，由于加工精度和集成电路技术的不断发展，美国对干冰制造机、喷射机进行了较大改进，体积大大缩小，重量减到2吨，并且利用微循环深冷技术，使CO2利用率进步近2倍，制造出不同硬度和尺寸的干冰颗粒，降低了本钱，使得该项技术由军事转向民用领域、产业领域，并得到飞速发展。

进入90年代，我国的一些清洗、铸造等专业性书籍和杂志中，对该技术也只有扼要性先容。90年代末期，国内在引进国外成套设备的同时引进了干冰清洗设备。较早采用干冰清洗的上海汽车有色铸造总厂从干冰清洗中获得了巨大效益，有效的保障了铸件质量，进步了生产效率。

世界制造业逐步向中国转移，我国《清洁生产促进法》等法律业已出台，大力推行清洁生产，重点发展资源利用率高、污染物产生量少的工艺、设备和技术替换物耗、能耗和污染物产生量大的落后工艺、设备和技术。有关环境污染方面的立法也将对产业排放施加持续的更加严格的管制，要求企业进行“清洁生产”。国家发改委2005年5月下发的《中国节水技术政策大纲》中明确指出“发展装备清洗技术。推广干冰清洗、喷淋清洗、不停车在线清洗等技术”。这些都为干冰清洗技术在我国的应用推广提供了良好的契机，干冰清洗技术将会得到更多的应用和发展。