1915 建筑家、工学博士横河民辅在东京成立电气仪表研究所。

1955 从美国福克斯波罗公司引进工业仪表技术。

1963 与美国惠普公司(HP)合资成立「Yokogawa Hewlett Packart Ltd.」。

1975 发表世界第一套微机集散控制系统「CENTUM」。

1982 与美国通用电气公司(GE)合资成立「横河医疗系统株式会社」。

1983 横河电机与北辰电机合并，成立「横河北辰电机株式会社」。

1986 实施CI，改名为「横河电机株式会社」,商标也从"YEW"改为"YOKOGAWA"。

1988 正式进入高频测试技术领域。

1992 与美国惠普公司(HP)合资成立「Yokogawa Analytical Systems Inc.」。

1997 发表事业理念「Enterprise Technology Solutions」。

2000 发表「新长期经营设想(Vision-21 & Action-21)」。

2001 1)在通信测定器及IC测试器领域与安藤电气公司提携。

2)发表生产网络化控制系统STARDOM」。

2002 1)横河电机与安藤电机合并

2)注资100%在中国苏州设立了工厂，命名为横河（苏州）有限公司。