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建设工程知识

双面对准曝光机技术指标

2022/07/18153 作者：佚名
导读：主要规格：1、光源：350WNUV；2、双CCD、双面对准系统；CCD图像倍率：180x~1200x；2个17寸LCD监视器；3、支持2、4、6英寸方基片；2、3、4、5、6英寸圆基片；技术指标：1、365nm光强密度：18-20mW/cm2；400nm光强密度：30-35mW/cm2；2、均匀性：50mm口径<±1%；100mm口径<±2%；150mm口径<±3%；3、分辨率：0.6um（接触式

主要规格：1、光源：350WNUV；2、双CCD、双面对准系统；CCD图像倍率：180x~1200x；2个17寸LCD监视器；3、支持2、4、6英寸方基片；2、3、4、5、6英寸圆基片；技术指标：1、365nm光强密度：18-20mW/cm2；400nm光强密度：30-35mW/cm2；2、均匀性：50mm口径<±1%；100mm口径<±2%；150mm口径<±3%；3、分辨率：0.6um（接触式）；1um（接近式）；4、正面对准精度：±0.5um5、背面对准精度。

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