1.气电转换高真空阀采用德国技术与制作工艺标准，与国内知名真空阀生产厂家合作，高密封，高真空度。
2.采用进口设备测量台面温度均匀性，实测值：±0.5℃；加热速率快、温度均匀性好、安全性高、节能，保证组件高品质、高性能。
3.人机友好界面设计：采用台湾高品质触摸屏，灵敏度高，操作方便；工艺参数设置简便。
4.控制系统高端配置：采用德国西门子PLC（可编程控制器），速度快工作性能强，更可靠。
5.应急系统和紧急按钮：设备在停电后，可手动打开上盖，取出组件。并可在紧急情况下通过紧急按钮强制停机。
6.多项准确、可靠的报警功能：包括气源、真空、油位、超温、变频器、电机的故障报警。设有专门的报警界面，查看方便，便于维修和分析 。2100433B
