| 测量参数 |
Ra、Rz、Rq、Rt |
| 测量范围（μm） |
Ra、Rq：0.05~10.0;Rz、Rt：0.1~50 |
| 取样长度（mm） |
0.25，0.80，2.5 |
| 评定长度（mm） |
1.25，4.0，5.0 |
| 行程长度（mm） |
6 |
| 示值精度 |
0.01μm |
| 示值误差 |
±（7-10）% |
| 示值变动性 |
<12% |
| 针尖圆弧半径 |
10μm±1μm |
| 触针静测力 |
≤0.016N |
| 测力变化率 |
≤800N/m |
| 传感器导头压力 |
≤0.5N |
| 电池 |
3.7V锂离子电池 |
| 外形尺寸 |
110mm×81mm×32mm |
| 重量 |
150g |
