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中频交流脉冲磁控溅射电源技术说明

2022/07/18222 作者:佚名
导读:电源功率范围 10--80KW 输入电源 AC380V 三相四线制 50-60HZ ±10% 输出方式 双极性脉冲 脉冲宽度 10-901%互补调整 输出频率 1-25KHZ 输出电压 空载1000V[正向或反向峰值] 灭弧时间 ≤3uS 输出功率稳定性 1% 冷却方式 2-10风冷 10-80KW水冷 使用环境 环境温度 0-40℃ 环境湿度 相对湿度 ≤85% 空气清洁 无粉尘 雾腐蚀性易燃性

电源功率范围

10--80KW

输入电源

AC380V 三相四线制 50-60HZ ±10%

输出方式

双极性脉冲

脉冲宽度

10-901%互补调整

输出频率

1-25KHZ

输出电压

空载1000V[正向或反向峰值]

灭弧时间

≤3uS

输出功率稳定性

1%

冷却方式

2-10风冷 10-80KW水冷

使用环境

环境温度 0-40℃

环境湿度 相对湿度 ≤85%

空气清洁 无粉尘 雾腐蚀性易燃性气体 通风良好

冷却水

清洁 不含矿物质及其它可溶性物质

水温20-30℃

压力0.15±0.05Mpa

*文章为作者独立观点,不代表造价通立场,除来源是“造价通”外。
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