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空气轴承的结构与MEMS制造工艺

2025-03-31

毫米级空气轴承的结构与MEMS制造工艺研究

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为了研究应用于微型推进系统的微型空气轴承(Micro Air Bearing,MAB)的结构形式及微机电系统(Micro-Electro-Mechanical System,MEMS)制造工艺,在保证性能需求的前提下,充分考虑轴承结构与MEMS工艺尤其是多层硅直接键合技术(Silicon Direct Bonding,SDB)的兼容性,提出了总厚度为1.5mm的新型结构形式并制定了完整的制造工艺流程;针对微型空气轴承制造的3B(Bearing,Blade,Bonding)挑战,采用变量实验的方法,研究了刻蚀参数对于轴承结构精度的影响规律,轴承侧壁垂直度达到89°,侧壁粗糙度小于10nm,消除了腐蚀扩散等常见的MEMS工艺缺陷,提高了叶片结构的完整性和均匀性,获得了多层硅直接键合的最优工艺参数,通过MATLAB图像处理程序定量分析三层直接键合率达到85%,优于之前报道的结果。研究结果说明,MEMS制造工艺能够用于微型空气轴承的制造,但在结构设计中必须考虑工艺兼容性,刻蚀的偏压功率和腔体压力对于径向轴承的侧壁垂直度和粗糙度具有重要影响,在刻蚀叶片时必须调整刻蚀保护循环比来保证其结构的完整性和均匀性,减少键合层数和应力累积水平对于多层硅直接键合率的提升具有重要作用。

汽车空调离合器轴承的制造工艺与研究
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针对汽车空调离合器轴承加工困难、合套率低的特点,对其制造工艺进行研究,提出制造工艺方案。生产实践应用表明,该项目研究的加工工艺技术方案切实可行,可为该轴承的国产化开发提供参考

水轮发电机推力轴承弹性油箱的制造工艺 水轮发电机推力轴承弹性油箱的制造工艺 水轮发电机推力轴承弹性油箱的制造工艺
水轮发电机推力轴承弹性油箱的制造工艺

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简要介绍弹簧油箱加工的制造工艺特点,对具有装卡困难、结构特殊、加工精度要求较高立式机组弹簧油箱的加工特点和难点进行了分析和研究,提出了具体的工艺方案并加以实施,经过实践证明可达到了预期的工艺效果。

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水轮发电机推力轴承弹性油箱的制造工艺

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水轮发电机推力轴承弹性油箱的制造工艺 4.8

水轮发电机推力轴承弹性油箱的制造工艺 水轮发电机推力轴承弹性油箱的制造工艺 水轮发电机推力轴承弹性油箱的制造工艺

根据对全国水轮发电机销售量调查得知,其销售量已呈逐年累增状态,可见水轮发电机的作用非常大.因此,提高水轮发电机性能对水轮发电机有着更好的促进作用.需要注重对水轮发电机推力轴承弹性油箱制造工艺的研究,主要源于该油箱在水轮发电机中有着显著的作用,本文针对弹性油箱的制造工艺进行介绍与分析,并针对弹簧油箱的加工特点与难点进行研究,提出更高的工艺加工方案,为提高弹性油箱使用效果而提出科学、有效的制造工艺.

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复合结构的旋转轴/喷头及其制造工艺

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滑动轴承铜套的设计与制造

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轴承工程塑料保持架的制造与应用

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轴承工程塑料保持架的制造与应用 4.8

轴承工程塑料保持架的制造与应用

为了积极而稳妥地开展滚动轴承工程塑料保持架的推广应用工作,《工程塑料应用》编辑部与机械工业部轴承工程塑料推广工作组密切配合,组织有关专业技术人员编写了这本《轴承工程塑料保持架专集》。本专集较全面、系统地总结了我国轴承行业推广应用工程塑料保持架的成功经验。以大量科学的试验数据和翔实的内容介绍了工程塑料保持架设计应用技术和制造技术,具有较强的实用性。可供从事工程塑料保持架设计、制造、应用工作的工程技术人员、管理人员、技术工人和大中专学校有关专业师生参考。同时也可供工程塑料行业的技术人员借鉴,共同为繁荣工程塑料事业而尽力。参加本专集编写工作的有:刘亚盈、蔡根喜、丁琦、徐圣明、吴祖骅、孟福玲、魏敏、王维中、王朝光、唐敏儿、勇泰芳、杨富祥、刘进海、施蜂波、沈继昌、周国忠、董友宁、崔丙申、周之平、盛咸熙、瞿永兴、郭亚民等同志。邢镇寰研究员级高级工程师、李次公译审负责了本专集的主审工作。参加本专集审定的有研究员级高级工程师金银木、曹诚梓、宋如英、盛咸熙;高级工程师罗继伟、赖俊贤、梁庆甫、张海龙、刘汉邦、胡昌格、王玉金、陈久生、丁常楷、江世尧、陈国权、周篤濂、肖振郁、赵海峰。因水平有限,本专集不当之处,敬请斧正。

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三峡机组发电机推力轴承精密部件制造工艺

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主要论述了三峡水轮发电机推力轴承的制造工艺特点。对加工精度及装配精度要求高的具有超薄镜板及弹性多支柱支撑的推力轴承的加工及装配过程的特点和难点进行了分析和研究,提出了具体的工艺方案加以实施,经过实践证明达到了满意的工艺效果。

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轴、壳体与轴承的配合

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轴、壳体与轴承的配合 4.6

轴、壳体与轴承的配合

轴、壳体与轴承的配合 发表时间:2007-11-1717:07:00浏览次数:585〖返回列表〗 1.轴与壳体的要求 轴、外壳精度不好的情况下,轴承受其影响,不能发挥所需性能。比如,安装部分挡肩如果精度不好,会 产生内、外圈相对倾斜。在轴承负荷之外增加了应力集中,使轴承疲劳寿命下降,更严重的会导致保持架 破损,烧结。 2.轴、壳体与轴承的配合 电机用轴承与轴的公差配合一般采用k5或k6。轴承与外壳的公差配合一般采用k7。对6309轴承所配合的 轴与外壳的精度如下: 轴的圆度公差:4~7μm、圆柱度公差:4~7μm、挡肩的跳动公差:4μm 外壳圆度公差:7~11μm、圆柱度公差:7~11μm、挡肩跳动公差:4~7μm 轴及外壳倒角不得与轴承的倒角相干涉,其倒角的半径值不能超过轴承倒角尺寸的最小值。

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浅析空气绝缘射频电缆的制造工艺和要求

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本文主要以广播电视信号发射用sdy系列产品——大功率、宽频皱纹铜管外导体同轴射频电缆sdy-50-40电缆为例,介绍空气绝缘电缆的结构组成、生产工艺、及生产中的质量控制。

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轴流式机翼型中空钢叶片的制造工艺

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轴流式通风机的机翼型叶片相对于圆弧薄板型叶片,因其效率高、噪声低等优点越来越被广泛使用,机翼型叶片通常采用铝合金铸造、浇钢铸造或锻压制造,但是在特殊设计、小批量的情况下其生产成本过高。为此,可以采用机翼型中空钢叶片焊接制造工艺,以低成本、短时间完成高效、低噪机翼型轴流风机的生产,这种风机既可以用作一般用途,也可以用于耐高温场合。

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钢结构制造工艺

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钢结构制造工艺 4.3

钢结构制造工艺

1、钢结构制造工艺 (1)材料 本工程钢构件所采用的钢材必须具备出厂质量保证书,并经复试 合格。 钢材未进入车间之前,必须由专人负责逐张检验后方可待用。 进入车间施工的材料均应平整、无弯曲、波浪、变形,如存在以 上缺陷的材料必须矫正后方可号料。 (2)放样、号料 在进行放样和制作样板时应认真核对图纸上的每一尺寸,有疑问 时应及时向技术部门提出。 样板上的定位标记应根据需要加放焊接收缩量。 凡主要构件需拼接时应使其主应力方向与钢板轧制方向保持一 致。 号料前的钢材变形矫正,应采用“机械矫正法”,如采用“火焰 矫正法”,必须严格控制加热温度在700摄氏度左右。 号料时必须予先留有割切缝隙的余量。 (3)钢桁梁制作 按图纸实际尺寸放样出零件加工切割的各种样板。钢桁梁所有高 强螺栓连接板,在未装配之前必须逐件验收后方可装配,对装配后的 连接板必须经专职检查人员确认无误后方可焊接。

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用于制造滑动轴承的铝合金

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世界专利wo2006131129中公布了一种德国技术人员研制的新型偏晶al轴承合金。除al之外,该合金中主要合金元素包括(质量分数):bi5%~20%、zn3%~20%和cu1%~4%,此外合金中还含有mn、v、nb、ni、mo、co、fe、w、cr、ag、ca、sc、ce、be、sb、b、ti、c或zr中的一种或一种以上的元素,其总含量不超过5%。该合金采用连续铸造、轧制和热处理(270~400℃)工艺制造。

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用于制造滑动轴承的铝合金

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世界专利wo2006131129中公布了一种德国技术人员研制的新型偏晶al轴承合金。除al之外,该合金中主要合金元素包括(质量分数):bi5%~20%、zn3%~20%和cu1%~4%,此外合金中还含有mn、v、nb、ni、mo、co、fe、w、cr、ag、ca、sc、ce、be、sb、b、ti、c或zr中的一种或一种以上的元素,其总含量不超过5%。该合金采用连续铸造、轧制和热处理(270~400℃)工艺制造。合金显微组织的特点是:合金中由于轧制加工而拉长的bi颗粒或片晶重新沉淀后形成了粒径不超过20μm的均匀分布的细球形颗粒。

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SKF将关闭位于南非的轴承制造工厂

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skf表示将在2007年6月底关闭位于南非埃滕哈赫的制造厂,该厂现有员工134人,作为skf全球生产体系的重要组成部份,过去10年该厂90%的产品用于出口。

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轴承的拆卸与安装

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以大型矿山挖掘传输机卡兰螺栓为研究对象,分析了锻造与机加是影响卡兰螺栓制造成本的关键因素,通过改进卡兰螺栓零件的结构,降低了卡兰螺栓制造成本,实现了制造使用性、工艺性和经济性的有机结合。

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本文描述了现在车用空调的划分种类,以及汽车空调的核心部件压缩机与换热器的设计与制造。压缩机主要介绍了变排量的斜盘式压缩机,对于换热器主要介绍了列管个参数的确定。

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电力电缆的结构与制造工艺

2007青年岗位成长基金成果之七 电力电缆的结构与制造工艺 高压所:段肖力 1前言 以前我们对电力电缆的结构有了一定的了解,但对生产工艺及各部分的材料 了解的深度不够,作为湖南省电力系统的技术部门,我们认为对这些方面做详细 的调查研究是很有必要的,对系统内电力电缆的安全稳定运行及故障、事故调查 分析是很有帮助的。本项目通过到电缆生产厂家进行调研,查阅相关的资料,使 我在电缆方面的薄弱环节得到了大大的提高。本项目得到了院团委的大力支持, 在此特表示衷心的感谢。 2电缆结构和材料 电缆的结构看似简单,其实它的每一个组成部分都有各自重要的使用目的, 所以制造电缆时必须仔细选择每一种组成材料,从而保证这些材料制成的电缆在 运行过程中的可靠性。 2.1导体材料 历史上,用于电力电缆导体的材料是铜和铝。人们还短暂地试用过钠。铜和 铝具有更好的导电性,在传输同样的电流时,

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炼钢转炉耳轴轴承结构改造的设计

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针对现有转炉耳轴轴承改造剖分结构时所受安装空间限制的问题,设计了一种不改变轴承内外径尺寸的新型剖分结构轴承,使原剖分设计的方法和限制得到了解决,对现有转炉耳轴轴承选用整体式结构改造提供了可行和实用的方案。

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轴承端盖工艺设计

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word格式可编辑 专业知识整理分享 专业课程设计 (零件工艺设计部分) 姓名: 学号:20090.................. 班级:机械工程学院09级工业工程班 指导教师:李方义、查黎敏 2013年1月17日 word格式可编辑 专业知识整理分享 一、零件的工艺分析 1、端盖的用途 端盖是应用广泛的机械零件之一,是轴承座的主要外部零件。 端盖的一般作用是:轴承外圈的轴向定位;轴承工作过程的防尘和密封(除 本身可以防尘和密封外,也常和密封件配合以达到密封的作用);位于车床电动 机和主轴箱之间的端盖,主要起传递扭矩和缓冲吸震的作用,使主轴箱的转动平 稳。因此该零件应具有足够的强度、刚度、耐磨性和韧性,以适应其的工作条件。 该零件的主要工作表面为左右端面以及左端面的外圆表面,在设计工艺规程时必 须重点考虑。端盖加工工艺的可行性与合理性直接影响零件的质

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轴承检修 高、中压缸的前轴承为自位式可倾瓦轴承,轴承体制承两半,在水平中分面用销定位, 各瓦块装在轴承体内,以球面垫块来支承和定位,垫块球面与瓦块中心的垫片接触,使轴承 与转子能自动对中,轴承体有五块钢垫块支承在轴承座球形孔上,垫块与轴承体间有垫片, 可调整轴承中心,有轴向定位装置防止轴承轴向移动。高、中压缸的后轴承为可倾瓦轴承, 除轴承体与轴承座之间无球形垫块外,其他与前轴承相似。 低压缸钱轴承上半瓦为圆筒形,下半瓦为两块可倾瓦组成,轴承体与轴承之间有球形 调整垫块。后轴承为圆筒形,带球形调整垫块。 推力轴承位于高、中压前轴承之前,并处于同一轴承座内,推力轴承是自位式的,通 过均压块,使每一个瓦块都承受同样的载荷。瓦块和均压块装在支承环内,支承环则装于壳 体内。推力轴承壳体的轴向位置,可由定位机构调整。 发电机前后轴承有端盖支承并经绝缘,其上半为椭圆瓦,下半为圆筒瓦。 励磁机

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宽度 止动环 保持架 铆钉 球 内圈滚道 外圈滚道 倒角尺寸 装配高 装配高 外圈 内圈 端面 防尘盖 轴 承 内 径 轴 承 外 径 节 圆 直 径 圆锥滚子轴承调心滚子轴承单向推力球轴承 单列深沟球轴承单列角接触球轴承圆柱滚子轴承 宽度差 小挡边 大挡边 圆锥滚子 作用点 作用点 接触角 接触角 内圈背面 外圈正面 内圈背面 外圈正面 内圈的正面 外圈的背面 内圈正面 外圈背面 调心球面中心高 调 心 球 面 半 径 轴圈内径 座圈内径 轴承外径 高度 轴圈 球 座圈 球面座垫 外圈挡边 斜挡圈 内圈挡边 圆柱滚子 滚 子 内 接 圆 径 圆锥孔 内圈 球面滚子 外圈 垫圈 螺母 套筒 图1.1 轴 承 各 部 位 名 称 1  滚动轴承的类型与特点 (2) 由于在国际上已实现标准化、规格化,   所以具有互换性,能够互换使用。 (3) 简化了轴承外围的结构,便于保养、检   

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顾兴军

职位:副总建筑师

擅长专业:土建 安装 装饰 市政 园林

空气轴承的结构与MEMS制造工艺文辑: 是顾兴军根据数聚超市为大家精心整理的相关空气轴承的结构与MEMS制造工艺资料、文献、知识、教程及精品数据等,方便大家下载及在线阅读。同时,造价通平台还为您提供材价查询、测算、询价、云造价、私有云高端定制等建设领域优质服务。PC版访问: 空气轴承的结构与MEMS制造工艺
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