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压阻微差压传感器的设计与无应力制造

2025-01-19

一种压阻微差压传感器的设计与无应力制造

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介绍了一种MEMS硅压阻微差压传感器的力学敏感元件设计及无应力制造与封装技术。使用双岛梁膜结构,取得了很高的输出灵敏度及优良的线性度。合理的钝化层应力互补技术是无应力制造技术的核心。衬底强化设计和O型圈悬浮封装的巧妙结合实现了无应力封装。使用这些技术生产的微差压传感器已在多年的生产实践中和重大科研中成功应用。

DPT266空气微差压传感器
DPT266空气微差压传感器

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复合功能差压传感器 复合功能差压传感器 复合功能差压传感器
复合功能差压传感器

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象测量差压和温度一样的差压传感器如今并不罕见。图1所示为目前使用的差压传感器原理构造纵剖面图。用扩散法分别在硅膜片1的薄膜片部11上形成半导体应变电阻群111,以感应差压△p,而在固定厚膜片部12上形成半导体应变电阻121,以感应温度。这里的应变电阻对高静压p无动于中(不感应)。设置在壳体2上的耐压气密端子3通过导线4连接外部电路。从而,

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基于AD7745的电容差压传感器设计

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基于AD7745的电容差压传感器设计 4.8

基于AD7745的电容差压传感器设计 基于AD7745的电容差压传感器设计 基于AD7745的电容差压传感器设计

以低功耗微处理器msp430为核心,采用新型的模数转换芯片ad7745,设计了一种测量液体差压的电容式差压传感器。给出了电容式差压传感器的设计原理和ad7745与msp430软硬件设计。实验结果表明:该传感器在量程为±100pf时,测量值稳定在高16位,分辨率为0.0001pf。电容传感器具有较好的线性输出特性和很好的重复性,成本低,具有较好的应用价值。

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基于差压传感器的绝缘油含气量测量技术

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基于差压传感器的绝缘油含气量测量技术 4.4

基于差压传感器的绝缘油含气量测量技术 基于差压传感器的绝缘油含气量测量技术 基于差压传感器的绝缘油含气量测量技术

绝缘油中含气量测定是gb/t7595—2008规定的变压器绝缘油质量的一个常规检测项目,传统的真空差压法和二氧化碳洗脱法存在测定过程复杂、精度低、人为因素多、不便于自动化检测等缺点。笔者详细阐述了一种依据理想气体状态方程、应用差压传感器来测量和标定绝缘油中含气量的方法,并且给出了测量需要的环境温度、大气压和气体压强等测量电路。结果表明,所提供的技术原理正确,方案可行,测量精度高,操作简单,便于自动化测量。

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热门文档 压阻微差压传感器的设计与无应力制造

利用电容式差压传感器测量密闭容器的液位设计

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利用电容式差压传感器测量密闭容器的液位设计 4.5

利用电容式差压传感器测量密闭容器的液位设计 利用电容式差压传感器测量密闭容器的液位设计 利用电容式差压传感器测量密闭容器的液位设计

本文采用电容式差压传感器测量液体的压强差,将该电容传感器配接一个电容信号转换为标准电流信号的测量电路,即构成"电容式差压变送器",将该信号输入ad7705实现ad转换,通过对单片机at89s51编程计算出液位值,最后结果由lcd显示。

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硅电容差压传感器性能测试中PLC对压力的控制

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硅电容差压传感器性能测试中PLC对压力的控制 4.5

硅电容差压传感器性能测试中PLC对压力的控制 硅电容差压传感器性能测试中PLC对压力的控制 硅电容差压传感器性能测试中PLC对压力的控制

原有硅电容差压传感器性能测试中压力控制方式完全采用人为操作,不仅耗时耗力,而且对性能测试的精度也存在无法估计的测试误差,为了避免这些弊端,提出了新的测试方案,该方案采用plc控制正、负腔管路中高压电磁阀和压力传感器的方式来实现对硅电容差压传感器性能测试过程中正、负腔管路的加卸压。这样便大大地节省了人力和时间,更加有效地提高了硅电容差压传感器性能测试效率。

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差压传感器在挖掘机液压控制系统中的应用

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差压传感器在挖掘机液压控制系统中的应用 4.5

差压传感器在挖掘机液压控制系统中的应用 差压传感器在挖掘机液压控制系统中的应用 差压传感器在挖掘机液压控制系统中的应用

不断引进传感器技术是促进工程机械智能化的前提,差压传感器的应用实现了负荷传感液压控制,使液压挖掘机获得最佳流量,提高了作业效率和复合操纵性,达到了节能的目的,促进了液压挖掘机的技术进步。

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一种压力、差压复合式传感器的构造思路

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一种压力、差压复合式传感器的构造思路 4.4

一种压力、差压复合式传感器的构造思路 一种压力、差压复合式传感器的构造思路 一种压力、差压复合式传感器的构造思路

根据生产实践的需求,本文从物理构造、电气构造、性能指标等方面,剖析了一种复合式压力传感器的构造,阐述了这种复合传感器研制的可行性。

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测量流体压力、差压的复合式传感器

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测量流体压力、差压的复合式传感器 4.4

测量流体压力、差压的复合式传感器 测量流体压力、差压的复合式传感器 测量流体压力、差压的复合式传感器

提出了由一只静压和一只差压传感器构成的复合式传感器。介绍了此复合式传感器的结构设计和性能测试结果。并说明了这种新型传感器在实际测量中具有独特的优越性。

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精华文档 压阻微差压传感器的设计与无应力制造

半封闭连通管式差压传感器在桥梁挠度测量中的应用

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半封闭连通管式差压传感器在桥梁挠度测量中的应用 4.4

半封闭连通管式差压传感器在桥梁挠度测量中的应用 半封闭连通管式差压传感器在桥梁挠度测量中的应用 半封闭连通管式差压传感器在桥梁挠度测量中的应用

挠度是评价桥梁结构安全性的重要指标。根据桥梁结构特点,选用半封闭连通管式差压传感器进行实际工程应用。论述了传感器的基本原理,介绍了实际的半封闭连通管式差压传感器及其系统的构成,并将该传感系统应用于荆岳长江公路大桥通车鉴定试验的静载挠度测量中,测量结果表明:半封闭连通管式差压传感器的测量数据能够有效地反映桥梁结构状态变化,且具有较高的测量效率和准确度。

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一种直接取压式差压流量传感器

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一种直接取压式差压流量传感器 4.6

一种直接取压式差压流量传感器 一种直接取压式差压流量传感器 一种直接取压式差压流量传感器

申请号:200920012633.9【公开号】cn201392215【分类号】g01f1/38(2006.01)i;g01f1/42(2006.01)i【申请人】锦州北方航海仪器有限公司【发明人】徐超;庄廷敏;王璐;李刚;刘义;武宝成【代理机构】沈阳东大专利代理有限公司

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自补偿式压磁应力传感器设计

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自补偿式压磁应力传感器设计 4.6

自补偿式压磁应力传感器设计 自补偿式压磁应力传感器设计 自补偿式压磁应力传感器设计

针对铁磁材料应力测试参数补偿问题,设计了四极压磁应力检测传感器,利用一对电极检测试件,另一对电极检测补偿试件,并设计了电路,在设计的传感器基础上进行了板材试件拉伸试验,试验验证了传感器的基本磁测性能,它具有性能稳定、结构简单的特点,可用于板材及管材应力在线无损检测。

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线圈式压阻瞬态高压传感器的设计

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线圈式压阻瞬态高压传感器的设计 4.7

线圈式压阻瞬态高压传感器的设计 线圈式压阻瞬态高压传感器的设计 线圈式压阻瞬态高压传感器的设计

针对新概念火炮内膛的温度变化大、振动、冲击及电磁干扰强等环境恶劣的高膛压测试,及现有的高膛压测试技术,尤其是高压传感器所存在的适应能力差的缺陷,提出了一种新结构的线圈式压阻瞬态高压传感器,它包括2个感压线圈和2个补偿线圈,这4个线圈与传感器外壳绝缘,形成半桥(双臂)工作的模式,同时采取多种形式屏蔽技术的联合设计构成抗电磁干扰的屏蔽系统.这种结构不仅可以提高传感器的灵敏度,而且可以通过防护和补偿来抵抗外界各种干扰.试验表明该传感器的非线性误差在高、低、常温状态下均不大于0.3%,重复性误差不大于0.5%.

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基于差压原理的矿用风筒风量开关传感器设计

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基于差压原理的矿用风筒风量开关传感器设计 4.6

基于差压原理的矿用风筒风量开关传感器设计 基于差压原理的矿用风筒风量开关传感器设计 基于差压原理的矿用风筒风量开关传感器设计

针对现有风筒风量开关传感器使用效果不佳的问题,设计了一种差压式风筒风量开关传感器,介绍了传感器的设计原理,并对其软硬件设计进行了描述,在文章最后给出了实验测试结果,,在1pa的风压下,测试精度可以达到±0.2pa,表明测试效果较好。

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10kV电压传感器的设计与误差分析

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10kV电压传感器的设计与误差分析 4.6

10kV电压传感器的设计与误差分析 10kV电压传感器的设计与误差分析 10kV电压传感器的设计与误差分析

目前,传统的互感器已经不能适应数字化测量保护设备的要求,一种新的电压测量方案的引入势在必行。基于电阻分压原理,设计了一种可替代10kv电磁式电压互感器的电压传感器。通过试验研究和计算,对影响传感器精度的因素进行了分析,并给出了减小误差的方法。作为传统互感器的替代设备,电压传感器必将得到广泛的应用和发展。

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针对液压检测差动变压器位移传感器的设计

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针对液压检测差动变压器位移传感器的设计 4.7

针对液压检测差动变压器位移传感器的设计 针对液压检测差动变压器位移传感器的设计 针对液压检测差动变压器位移传感器的设计

介绍了采用差动变压器作为传感器,通过检测其铁芯在液压和大气压2个相反方向的压力作用下产生的位移来达到检测液压的目的。详细介绍了采用平衡调制解调器芯片实现差动变压器信号检测与处理的原理和方法。由于对差动变压器副边线圈输出的差动信号进行了检相、滤波、积分等处理,经验证明:与其它检测方法相比,该传感器具有更高的灵敏度、更高的准确度、更大的灵活性。

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前室压力传感器I楼梯间压力传感器I压差控制器I压差测控器介绍

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前室压力传感器I楼梯间压力传感器I压差控制器I压差测控器介绍 4.6

前室压力传感器I楼梯间压力传感器I压差控制器I压差测控器介绍

前室压力传感器i楼梯间压力传感器i压差控制器i压差测 控器介绍 前室压力传感器i楼梯间压力传感器,源于《建筑防排烟与暖通空调防火设计图集》 在介绍压力传感器之前,先来了解下加压送风系统。加压送风工作方式是通过送风机所产生的气 体流动和压力差来控制烟气的流动,即在建筑内发生火灾时,对着火区以外的有关区域进行送风 加压,使其保持一定正压,以防止烟气侵入的防烟方式。 为保证疏散通道不受烟气侵害使人员安全疏散,发生火灾时,从安全性的角度出发,高层建筑内 可分为四个安全区:第一类安全区为防烟楼梯间、避难层;第二类安全区为防烟楼梯间前室、消 防电梯间前室或合用前室;第三类安全区为走道;第四类安全区为房间。 依据上述原则,加压送风时应使防烟楼梯间压力>前室压力>走道压力>房间压力,同时还要保证 各部分之间的压差不要过大,造成开门困难影响疏散。当火灾发生时,

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传感器的输出电压

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传感器的输出电压 4.4

传感器的输出电压

传感器的输出电压

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Lamb波压差式微流量传感器

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Lamb波压差式微流量传感器 4.4

Lamb波压差式微流量传感器 Lamb波压差式微流量传感器 Lamb波压差式微流量传感器

为提高微流体系统中的流量检测灵敏度,增大动态检测范围,实现温度补偿,提出了一种基于lamb波的压差式微流量传感系统。该传感系统主要由两个lamb波压力传感器和微通道组成,它利用lamb波薄膜内应力的敏感特性,以频率计量的方式间接测量微通道两端的压力差;并采用双lamb波压力传感器构成差动式测量结构进行温度补偿。对长20mm,宽1mm,高50μm的微通道进行了流量测试实验,结果表明:在流量测试范围内,微通道两端的频率差与流量基本呈线性变化,其线性相关系数为0.9999;在微流量传感器未进行优化的前提下,最小检测量为0.627μl/s。

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医学压差式传感器测量系统

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医学压差式传感器测量系统 4.7

医学压差式传感器测量系统 医学压差式传感器测量系统 医学压差式传感器测量系统

为满足医学上的需要,提出了开关电容电荷平衡a/d转换器,对其工作原理进行了详细地分析,并与压差式传感器、单片机构成了一个可远距离数据通讯的高准确度压差式传感器测量系统

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压磁应力传感器差动信号检测电路设计

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压磁应力传感器差动信号检测电路设计 4.7

压磁应力传感器差动信号检测电路设计 压磁应力传感器差动信号检测电路设计 压磁应力传感器差动信号检测电路设计

由于压磁应力传感器结构对称性存在着差异,致使传感器输出信号的零点值调节困难,而传统的电路输出交流信号,不便于信号处理。采取对两组检测信号先整流滤波,再进行分压式比较,使得输出信号直接为直流信号。利用所设计的电路进行了实验,通过调节电位器即可实现传感器零点值的准确调节。通过实验验证了电路的性能,也验证了磁测应力传感器的性能。

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压力传感器对电压的要求 (3)

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压力传感器对电压的要求 (3) 4.5

压力传感器对电压的要求 (3)

一般普通压力传感器的输出为模拟信号,近距离满量程输出电压可达100-150mv, 输出电流为0-0101ma.远距离输出信号电压便会衰减,应采用电流信号输出。经压力变送 器将电流放大后可以输出20ma以下的电流信号。这样,价格就成倍增加。 另外,只有经过a/d和v/f变换后才能得到数字信号和频率信号。 恒流源和恒压源都是通常传感器采用的两种激励源。两种激励方法是有区别的,其作用 不同。 恒流源激励有利于热灵敏度漂移的补偿作用。 因为桥臂电阻器的温度系数为正,而灵敏度温度系数为负。恒流源激励时的输出信号电 压的温度系数是两者的代数和。而恒压激励不能直接提供灵敏度温度补偿效果。但用恒压 源激励时可在桥外串接热敏电阻或二极管以补偿热灵敏度漂移。用恒流源激励时,这种灵敏 度补偿方法便不起作用。可见,恒压源激励和恒流源激励相互之间不能随意互换。 一般精度

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压力传感器对电压的要求 (2)

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压力传感器对电压的要求 (2) 4.4

压力传感器对电压的要求 (2)

一般普通压力传感器的输出为模拟信号,近距离满量程输出电压可达100-150mv,输出电 流为0-0101ma.远距离输出信号电压便会衰减,应采用电流信号输出。经压力变送器将电 流放大后可以输出20ma以下的电流信号。这样,价格就成倍增加。 另外,只有经过a/d和v/f变换后才能得到数字信号和频率信号。 恒流源和恒压源都是通常传感器采用的两种激励源。两种激励方法是有区别的,其作 用不同。 恒流源激励有利于热灵敏度漂移的补偿作用。 因为桥臂电阻器的温度系数为正,而灵敏度温度系数为负。恒流源激励时的输出信号 电压的温度系数是两者的代数和。而恒压激励不能直接提供灵敏度温度补偿效果。但用恒 压源激励时可在桥外串接热敏电阻或二极管以补偿热灵敏度漂移。用恒流源激励时,这种 灵敏度补偿方法便不起作用。可见,恒压源激励和恒流源激励相互之间不能随意互换。 一般精度测量时用恒流源激励。恒压源激励时,

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压力传感器对电压的要求

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压力传感器对电压的要求 4.3

压力传感器对电压的要求

一般普通压力传感器的输出为模拟信号,近距离满量程输出电压可达100-150mv,输出电 流为0-0101ma.远距离输出信号电压便会衰减,应采用电流信号输出。经压力变送器将电 流放大后可以输出20ma以下的电流信号。这样,价格就成倍增加。 另外,只有经过a/d和v/f变换后才能得到数字信号和频率信号。 恒流源和恒压源都是通常传感器采用的两种激励源。两种激励方法是有区别的,其作 用不同。 恒流源激励有利于热灵敏度漂移的补偿作用。 因为桥臂电阻器的温度系数为正,而灵敏度温度系数为负。恒流源激励时的输出信号 电压的温度系数是两者的代数和。而恒压激励不能直接提供灵敏度温度补偿效果。但用恒 压源激励时可在桥外串接热敏电阻或二极管以补偿热灵敏度漂移。用恒流源激励时,这种 灵敏度补偿方法便不起作用。可见,恒压源激励和恒流源激励相互之间不能随意互换。 一般精度测量时用恒流源激励。恒压源激励时,

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王圣

职位:资深专业监理工程师

擅长专业:土建 安装 装饰 市政 园林

压阻微差压传感器的设计与无应力制造文辑: 是王圣根据数聚超市为大家精心整理的相关压阻微差压传感器的设计与无应力制造资料、文献、知识、教程及精品数据等,方便大家下载及在线阅读。同时,造价通平台还为您提供材价查询、测算、询价、云造价、私有云高端定制等建设领域优质服务。PC版访问: 压阻微差压传感器的设计与无应力制造
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