精品文献
超纯水系统工艺及其施工半导体技术天地
超纯水系统施工工艺
超纯水系统工艺及其施工 半 导体技术天地 i i \'m$t g v(I . 半导体技术天地 %m Q4A&W G o!h N v E 一、 超纯水系统总体介绍 半导体 ,芯片 ,集成电路 ,设计 ,版图 ,晶圆 ,制造 ,工艺 ,制程 ,封装 ,测 试 ,wafer,chip,ic,design,eda,fabrication,process,layout,package,test,FA,RA,QA, photo,etch,implant,diffustion,lithography,fab,fabl 随着电子工业的发展，在芯片的生产加工过程中，对于水质的要求也越来越高。为了保 证生产出超大规模的集成电路，除高纯原材料、高纯气体、高纯化学药品外，高纯水也是 其中最关键的因素之一。高纯水系统是将一般的市政用水处理成对不同离子的含量和颗粒 度都有很高要求的超纯水。 超纯水系统总体来说一
超纯水系统技术方案
1 方 案 书 目 录 企 业 简 介 .................................................... 业 务 范 围 .................................................... 设 计 总 则 .................................................... 第一章 项目概况 ............................................... 第二章 技术规范要求 ........................................... 第三章 工艺系统说明 ........................................... 第四章 设备技术参数及详细清单 ........