精品文献
导电玻璃裁割技术与清洗方法
OLED用ITO导电玻璃制作方法
加 H2镀 OLED 用 ITO 导电玻璃 为了解决 OLED 用 ITO 导电玻璃表面粗糙度和抛光粉残留影响发光器件的 发光效率及其使用寿命，希望直接用真空镀膜工艺得到低粗糙度 ITO。在金工的 指导下查阅大量资料，做了大量实验初步研究出真空设备直接镀出低粗糙镀 ITO，下面是实验内容与结果： 样 品 号 Ar+O2/ SCCM Ar SCCM H2 SCCM 气 压 Pa 速 度 HZ 功 率 KW 镀 膜 温 度 ℃ 退 火 温度 电 阻 Ω /□ Tr % Ra 备 注 (退火 工艺 ) 1# 85 70 0.58 8× 2 3.0 RT 380 26 90 0.36 Ar/O 2=200 10 分钟 2# 85 70 0.59 8× 2 3.0 RT 380 26 90 0.42 不加气体 10 分 钟 3# 85 70 100 0.85 8× 2 3.
ITO(OLED用)导电玻璃制作方法
加 H2镀 OLED 用 ITO 导电玻璃 为了解决 OLED 用 ITO 导电玻璃表面粗糙度和抛光粉残留影响发光器件的 发光效率及其使用寿命，希望直接用真空镀膜工艺得到低粗糙度 ITO。在金工的 指导下查阅大量资料，做了大量实验初步研究出真空设备直接镀出低粗糙镀 ITO，下面是实验内容与结果： 样 品 号 Ar+O2/ SCCM Ar SCCM H2 SCCM 气 压 Pa 速 度 HZ 功 率 KW 镀 膜 温 度 ℃ 退 火 温度 电 阻 Ω /□ Tr % Ra 备 注 (退火 工艺 ) 1# 85 70 0.58 8× 2 3.0 RT 380 26 90 0.36 Ar/O 2=200 10 分钟 2# 85 70 0.59 8× 2 3.0 RT 380 26 90 0.42 不加气体 10 分 钟 3# 85 70 100 0.85 8× 2 3.