抛光液,抛光液知识 - 工程造价

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抛光液

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随着半导体工业的飞速发展，化学机械抛光（CMP）渐成为集成电路制造中的一项关键工艺，其中抛光液是化学机械抛光过程中重要的消耗品，长期以来国内主要硅材料厂及半导体元件厂依赖进口产品，不仅价格昂贵，而且受制于人。中科院上海微系统所纳米技术研究室CMP小组开展了“纳米抛光液产业化关键技术”研究，

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随着半导体工业的飞速发展,化学机械抛光(CMP)渐成为集成电路制造中的一项关键工艺,其中抛光液是化学机械抛光过程中重要的消耗品,长期以来国内主要硅材料厂及半导体元件厂依赖进口产品,不仅价格昂贵,而且受制于人。中科院上海微系统所

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