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超薄硅双面抛光片抛光工艺技术
超薄硅双面抛光片抛光工艺技术
MEMS器件、保护电路、空间太阳电池等的制作需要使用硅双面抛光片,并且要求抛光片的厚度很薄,传统的硅抛光片加工工艺已经不能满足这一要求。介绍了一种用于超薄硅单晶双面抛光片加工的抛光工艺方法。通过对硅片抛光机理[1]、抛光方式、抛光工艺的研究和对抛光工艺试验结果的分析,解决了超薄硅单晶双面抛光片在加工过程中碎片率高、抛光片背面表面质量不易控制的技术难题,研制出了高质量的超薄硅单晶双面抛光片。
花岗岩石材干磨抛光片
花岗岩石材干磨抛光片
本文将对比花岗岩石材干磨抛光片与其他石材处理方法的优劣，详细说明其在建设工程领域的应用。通过对比分析，帮助读者了解花岗岩石材干磨抛光片的特点和适用场景。