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有机玻璃片
商品有机玻璃片微结构的深刻蚀研究
商品有机玻璃片微结构的深刻蚀研究
研究应用O2反应离子刻蚀(RIE)直接深刻蚀商用有机玻璃(PMMA)片,以实现微结构的三维微加工,工艺简单,加工成本较低,为微器件的高深宽比加工提出了新方法。试样采用Ni作掩膜,以普通的光刻胶曝光技术和湿法刻蚀法将Ni掩膜图形化。工作气压、刻蚀功率等工艺参数对刻蚀速率影响较大。在刻蚀过程中,掩膜上的金属粒子会被刻蚀气体离子轰击而溅射散落出来,形成微掩膜效应。利用这种RIE技术,在适当的溅射功率及气压下,刻蚀速率较快,且获得了较陡直的微结构图形,刻蚀深度达120μm。
电镀透明有机玻璃片网印有机玻璃测试报告
来料类型 供应商 品名 订单系列 来料数量 来料日期 测试数量 检验员 检验日期 审核 测试项目 : 1、透明有机玻璃开料测试: 测试数量 测试数量 开料面积 : 开料宽度 : 开料块数 : 开料锯片 : 结果判定 : 结果判定 : 3、网印测试: 测试数量 : ㈠ .防白水测试 : 测试数量 : 1pcs 结果判定 : ㈡ .慢干水测试 : 测试数量 : 1pcs 结果判定 : 结果判定 : 电镀 (五金、塑胶 )、透明有机玻璃片、网印有机玻璃来料测试报告 2、表面附着力百格测试 : 检验工具 / 方式 : 钢尺 /百格刀 / 3M 胶纸 品质标准 1. 表面需平整、不可有破裂和碎状 (超过边缘 5mm)、裂纹现象. 2. 颜色、光泽度和透明度要与样品一致. 1.锯一块 10cm×10cm有机玻璃片开料成 10条1cm× 10cm长条、不可有缺损和崩裂现象. 2.锯一小块