VICTREX PEEK先进CMP保持环与FOUP晶圆盒
VICTREX PEEK先进CMP保持环与FOUP晶圆盒
外单通风
序号 项目名称 矩形镀锌风管 4000以上( φ=1.2) 矩形镀锌风管 4000以内( φ=1.2) 矩形镀锌风管 4000以内( φ=1.0) 防火包裹 矩形镀锌风管 2000以内( φ=0.75) 矩形镀锌风管 800以内( φ=0.75) 圆形镀锌风管 11200以内( φ=0.75) 双层百叶风口 风量:1875m3/h 800×250 双层百叶风口 风量:1923m3/h 800×250 自垂百叶风口 400*800 双层百叶风口 400×300 双层百叶风口 630×200 双层百叶风口 600×800 单层百叶风口 1250×500 防火阀 (70°C关) 250*200 防火调节阀 (70°C关) 800*320 对开调节阀 (70°C关) 400*320 对开调节阀 (70°C关) 500*320 对开调节阀 (70°C关) 800*320 防火排烟阀
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