按测距原理可分为脉冲法测距仪和相位法测距仪。前者为脉冲发生器发射光脉冲，利用脉冲在测线上往返传播时间间隔的脉冲个数以求得距离，如激光测月仪、激光人造卫星测距仪等。后者是由测距仪发射连续的正弦调制波，测出该调制波在测线上往返传播产生的相位移以求得距离，如激光测距仪、红外测距仪等。采用相位法测距的仪器测程短、精度高，常用于大地测量。按载波来分，以微波段的电磁波或以光波为载波的分别称为微波测距仪或光电测距仪。光电测距仪以激光或以红外光为载波的分别称为激光测距仪或红外测距仪。红外测距仪是以砷化镓发光二极管研发的荧光作为载波源，发出的红外线的强度能随注入电信号的强度而变化。因此兼有载波源和调制器的双重功能。砷化镓发光二极管体积小、亮度高、功耗小、寿命长、连续发光，所以红外测距仪获得广泛使用。电磁波测距仪具有精度高、作业迅速、受气候和地形影响小的优点。

电磁波测距有两种方法:脉冲测距法和相位测距法。

由测线一端的仪器发射的光脉冲的一部分直接由仪器内部进入接收光电器件，作为参考脉冲;其余发射出去的光脉冲经过测线另一端的反射镜反射回来之后，也进入接收光电器件。测量参考脉冲同反射脉冲相隔的时间t，即可由下式求出距离D: ,式中 c为光速。卫星大地测量中用于测量月球和人造卫星的激光测距仪，都采用脉冲测距法。

用高频电流调制后的光波或微波从测线一端发射出去，由另一端返回后，用鉴相器测量发射波与回波之间的相位差嗘。若调制频率为f，则电磁波往返经历的时间为:式中n是

时间t中的整周数。将 t代入到上列脉冲测距法的公式中，得距离D为: ,式中λ是已知的调制波波长相当于测量距离的尺子的长度,n相当于测程上的整尺数是不足一个测尺长的尾数。

为了确定整尺数n,通常采用可变频率法和多级固定频率法。前者是使测距仪的调制频率在一定范围内连续变化，这就相当于连续改变测尺长度，使它恰好能量尽待测距离。测距时，逐次调变频率，使不足整尺的尾数等于零。根据出现零的次数和相应的频率值，就可以确定整测尺数n°当采用多级固定频率法时,相当于采用几根不同长度的测尺丈量同一距离。根据用不同频率所测得的相位差，就可以解出整周数n，从而求得距离D。

相位差除了用鉴相器测量之外，还可采用可变光路法，即用仪器内部的光学系统改变接收信号的光程，使该信号延迟一段时间。电子仪表指示发射信号与接收信号相位相同时，直接在刻划尺上读出尾数。此外，还可以用延迟电路来改变接收信号的相位，由该电路调整控制器上的分划，读出尾数。

目前地面上的电磁波测距一般都采用相位测距法。

电磁波测距仪根据载波为光波或微波而有光电测距仪和微波测距仪之分。前者又因光源和电子部件的改进，发展成为激光测距仪和红外测距仪。

早期的光电测距仪采用电子管线路, 以白炽灯或高压水银灯作为光源，体型大，测程较短，而且只能在夜间观测。60年代末出现了以氦氖激光器作光源、采用晶体管线路的激光测距仪，主机重量约20公斤，测程可达60公里,而且日夜都可以观测,测距精度约为±(5毫米+1×10D)。70年代出现了通过双载波测距、自动改正大气折射影响的激光测距仪，测距精度又有了进一步的提高。1979年更出现了三波长测距仪，使测距精度达到了千万分之一。

在发展激光测距仪的同时，60年代中期出现了以砷化镓管作为光源的红外测距仪。它的优点是体型小，发光效率高;更由于微型计算机和大规模集成电路的应用，再与电子经纬仪结合，于是形成了具备测距、测角、记录、计算等多功能的测量系统，有人称之为电子全站仪或电子速测仪。目前这种仪器的型号很多，测程一般可达5公里,有的更长,测距精度为±(5毫米+3×10D)，广泛用于城市测量、工程测量和地形测量。

原理是将测距频率调制在载波上，由主台发射出去，经副台接收和转送回来之后，测量调制波的相位。确定测线上整周期数 n和相位差 嗘/2π 的原理与光电测距相同。早期的微波测距仪为了测定相位差，使发射的调制波在阴极射线管上产生一个圆形扫迹;返回信号则变换成为脉冲,它使圆形扫迹产生一个缺口,其位置表示发射信号与返回信号的相位差。以后改用移相平衡原理测定相位差。从1956年到70年代中期，微波测距仪有了重大改进。它经历了电子管、晶体管和集成电路3个阶段，重量减轻，体积缩小，耗电量下降,并提高载波频率以缩小波束角，提高调制频率使测距读数更为精确。此外,它还有全天候和测程远(可达到100公里)的优点，因此是一种很方便的测距仪器。但因它的波束角比光电测距仪的大，多路径效应严重，地表和地物的反射波使接收波的组成极为复杂，而又无法区分，给观测结果带来误差。此外，大气湿度对微波测距的影响相当大，而在野外湿度又难于测定。因此，微波测距的精度低于光电测距。(见彩图)