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电感耦合等离子刻蚀机技术指标

电感耦合等离子刻蚀机技术指标

0 微米深硅刻蚀 约2.5微米独立汽坑宽 大于 1 微米光刻胶掩膜厚度或大约 0.5 微米 SiO2 掩膜掩膜圆形的硅暴露面积小于 10% 刻蚀速度 2 微米/分钟 光刻胶的选择比: 50 : 1 SiO2 的选择比 100 : 1边壁角度: 90 度。

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电感耦合等离子刻蚀机造价信息

  • 市场价
  • 信息价
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等离子配件

  • P80参数:用;种类:焊割配件;
  • 得瑞
  • 13%
  • 济南万林机械设备有限公司
  • 2022-12-08
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等离子配件

  • P80参数:喷普通;种类:焊割配件;
  • 得瑞
  • 13%
  • 济南万林机械设备有限公司
  • 2022-12-08
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等离子配件

  • P80参数:同昌80 枪头;种类:焊割配件;
  • 得瑞
  • 13%
  • 济南万林机械设备有限公司
  • 2022-12-08
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等离子配件

  • P80参数:泛洋100保分;种类:焊割配件;
  • 得瑞
  • 13%
  • 济南万林机械设备有限公司
  • 2022-12-08
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等离子配件

  • P80参数:保分;种类:焊割配件;
  • 得瑞
  • 13%
  • 济南万林机械设备有限公司
  • 2022-12-08
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红外高清球

  • 广东2021年4季度信息价
  • 电网工程
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红外高清球

  • 广东2021年3季度信息价
  • 电网工程
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红外高清球

  • 广东2020年2季度信息价
  • 电网工程
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红外高清球

  • 广东2020年1季度信息价
  • 电网工程
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红外高清球

  • 广东2022年3季度信息价
  • 电网工程
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电感耦合等离子体质谱仪

  • 参数配置详见附件
  • 1台
  • 1
  • 中档
  • 含税费 | 含运费
  • 2020-09-21
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经济技术指标

  • 40层
  • 04.2m层高
  • 1
  • 不含税费 | 不含运费
  • 2009-05-12
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电感耦合等离子体质谱仪及配套设备

  • iCAP RQ
  • 1套
  • 1
  • 中档
  • 不含税费 | 不含运费
  • 2021-10-19
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电感耦合等离子体质谱仪(ICP-MS)

  • 1000G
  • 1台
  • 1
  • 帕金埃尔默(PE)
  • 中档
  • 含税费 | 含运费
  • 2020-08-04
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低温等离子装置

  • 等离子浓度为在送风孔板或送风口下方1米处为10000个/立方厘米
  • 22台
  • 1
  • 中高档
  • 含税费 | 含运费
  • 2015-11-04
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电感耦合等离子刻蚀机主要功能

主要用于硅材料的深槽刻蚀,同时又兼顾MEMS表面工艺中的浅硅刻蚀。 2100433B

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电感耦合等离子刻蚀机技术指标常见问题

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电感耦合等离子刻蚀机技术指标文献

TEGAL421等离子刻蚀机射频电源的维修及调整 TEGAL421等离子刻蚀机射频电源的维修及调整

TEGAL421等离子刻蚀机射频电源的维修及调整

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页数: 3页

TEGAL421 等离子刻蚀机射频电源的维 修及调整 TEGAL421 等离子刻蚀机射频电源的电路图如下: 各部分电路的作用, DC Power Supply Board 板是一块电源板提供射频源 工作所需的各路电源,包括电子管工作的高低压。 OSICLACTOR Board 板提供 射频源的激励信号, Q1是震荡管,Q4是推动管,Q3,Q2组成脉宽功率调节电路。 V1和 V2是两个输出电子管,提供所需的射频功率。其中 Lv 是低压变压器,机 器一通电,该变压器就被通电。而 BV 是高压变压器,只有在需要射频输出时才 被通电。 Power Coupler 是入射功率和反射功率检测模块。主机背面的电位器 R5 和 R6 用于矫正入射和反射功率的偏差。 Test Port 测试端口用于检测射频电 源的工作参数。 射频电源的调整 射频电源调整的步骤如下: 1. 关闭交流电源。 2. 移除射频电源

电感耦合等离子体质谱检测尿铅同位素比值 电感耦合等离子体质谱检测尿铅同位素比值

电感耦合等离子体质谱检测尿铅同位素比值

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大小:300KB

页数: 未知

目的建立电感耦合等离子体质谱(ICP-MS)检测尿铅同位素比值的测定方法。方法取10 ml尿样用浓硝酸及30%过氧化氢消解赶酸后用1%硝酸定容至5 ml测定;利用铅同位素标准物质(GBW04426)测定铅同位素比值校正系数,将铅同位素标准参考物NIST SRM981同样品一起经ICP-MS检测。结果优化检测方法后进行尿铅同位素检测,NIST SRM981同位素测定精密度RSD(204Pb/206Pb)<2%、RSD(207Pb/206Pb)<1%、RSD(208Pb/206Pb)<1%,NIST SRM981检测结果与证书值接近。结论该方法方便简捷、数据可靠,可满足尿铅同位素的测定。

捏炼机捏炼机

捏炼机的分类:

按结构形式可分为加压式捏炼机(翻转式密炼机)和开放式捏炼机。

按工作原理及用途可分为橡塑混炼机和橡胶再生压片机。

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光机光机分类

按照数控机床的分类,光机可分为各类数控机床光机和加工中心光机,以及各种特种机床光机。

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推土机司机挖掘机司机(下册)简介

内容简介

内 容 简 介 本书系根据铁道部《铁路工人技术标准》编写的,分上、下册出版。下册内容包括 土方工程机械底盘的构造、传动系统的功用和类型、主离合器、几种液力变矩器、轮式 底盘的驱动桥、履带式底盘的驱动桥、土方机械及起重机、推土机、铲运机、平地机、装 载机、单斗挖掘机、起重机、土方工程机械化施工及油料。 本书可供从事推土机、挖掘机工作的司机、工程技术人员、干部学习。2100433B

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