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《电子工业用四氯化硅》(GB/T 38867-2020)规定了电子工业用四氯化硅的技术要求、检验规则、试验方法、标志、包装、运输、储存及安全的要求。该标准适用于工业四氯化硅精制提纯后的电子工业用四氯化硅。
GB 190 危险货物包装标志 GB/T 602 化学试剂—杂质测定用标准溶液的制备 GB/T 3723 工业用化学产品采样安全通则 GB/T 4842 氩 GB/T 5099 钢质无缝气瓶 GB/T 6040 红外光谱分析方法通则 GB/T 6680 液体化工产品采样通 GB/T 7144 气瓶颜色标志 GB/T 11446.1-2013 电子级水 GB/T 14193 液化气体气瓶充装规定 GB 15258 化学品安全标签编写规定 |
GB/T 16804 气瓶警示标签 GB/T 28726 气体分析—氦离子化气相色谱法 GB/T 32566 不锈钢焊接气瓶 GB/T 34972 电子工业用气体中金属含量的测定—电感耦合等离子体质谱法 TSG R0006 气瓶安全技术监察规程危险化学品安全管理条例(2002年1月26日中华人民共和国国务院令第344号公布,2011年2月16日国务院第144次常务会议修订通过) 特种设备安全监察条例(2009版,中华人民共和国国务院令第549号) |
参考资料:
标准计划
2018年12月29日,国家标准计划《电子工业用四氯化硅》(20184310-T-469)下达,项目周期12个月,由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)提出并归口上报,TC203SC1(全国半导体设备和材料标准化技术委员会化学品分会)执行,主管部门为中华人民共和国国家标准化管理委员会。
标准起草
起草小组联合湖北省标准化与质量研究院、西南化工研究设计院有限公司、随州市信息与标准化所等科研单位和企业,对国际、中国国内产品生产情况进行了深入调研和分析,将中国以外产品的企业标准和中国国内实际生产情况相结合编制标准草拟稿,先后于昆明、上海、武汉多次召开标准讨论会,广泛征求意见并反复开展验证试验,最终通过全国半导体设备和材料标准化技术委员气体分会的标准审查。
发布实施
2020年7月21日,国家标准《电子工业用四氯化硅》(GB/T 38867-2020)由中华人民共和国国家市场监督管理总局、中华人民共和国国家标准化管理委员会发布。
2021年2月1日,国家标准《电子工业用四氯化硅》(GB/T 38867-2020)实施。
国家标准《电子工业用四氯化硅》(GB/T 38867-2020)依据中国国家标准《标准化工作导则—第1部分:标准的结构和编写规则》(GB/T 1.1-2009)规则起草。
主要起草单位:湖北晶星科技股份有限公司、湖北省标准化与质量研究院、洛阳中硅高科技有限公司、唐山三孚电子材料有限公司、湖北光谷标准创新科技有限公司、广东华特气体股份有限公司、浙江西亚特电子材料有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、大连大特气体有限公司、上海市计量测试技术研究院、联雄投资(上海)有限公司、随州市信息与标准化所、达州市质量技术监督检验测试中心、西南化工研究设计院有限公司。
主要起草人:徐德、张国光、黄娣、刘畅、杨剑、赵雄、楚东旭、王春英、戴帅、张竞、黄国菲、廖恒易、陈艳珊、杨利、于青玉、方华、曹作斌、曲庆、陈鹰、李春华、黄辉、谭鹏程、邓远方、周鹏云、徐龙、赵帅德、唐霞梅。
高纯四氯化硅为无色透明液体,无毒,纯度稍低的呈现微黄或者淡黄色,有窒息性气味。常温常压下密度1.48,熔点-70℃,沸点57.6℃,沸点随着压力增高而增高。在潮湿空气中水解而成硅酸和。遇水时水解作用很...
四氯化硅属于无色或淡黄色发烟液体,有刺激性气味。受热或遇水分解放热,放出有毒的腐蚀性烟气。对眼睛及上呼吸道有强烈刺激作用,高浓度可引起角膜混浊,呼吸道炎症,甚至肺水肿。皮肤接触后可引起组织坏死。
物理性质外观与性状:无色或淡黄色发烟液体,有刺激性气味,易潮解。熔点(℃):-70相对密度(水=1):1.48沸点(℃):57.6相对蒸气密度(空气=1):5.86分子式:SiCl4分子量:169.9...
前言 |
Ⅰ |
---|---|
1范围 |
1 |
2规范性引用文件 |
1 |
3技术要求 |
1 |
4检验规则 |
2 |
5试验方法 |
2 |
6标志、包装、运输、储存和安全警示 |
7 |
附录A(资料性附录)取样方法 |
8 |
附录B(规范性附录)安全警示 |
10 |
参考文献 |
12 |
参考资料:
《电子工业用四氯化硅》(GB/T 38867-2020)的发布实施,填补了中国电子工业用四氯化硅气体的标准空白,有利于提高中国自主生产电子工业用气体的能力,促进先进半导体材料制造业的迅速发展,提供技术依据和可靠保障,对有效提高企业标准话语权和知名度、提升企业核心竞争力也具有十分重要的意义。
《电子工业用四氯化硅》(GB/T 38867-2020)规范了电子工业用四氯化硅行业的质量要求,有利于提高中国高端电子材料自给能力,推动电子相关产业进步,扩大中国电子科技对外影响力,有效服务于国家战略需求。 2100433B
电子工业用高性能铜合金箔带开发研究
研究试验表明,普通C5191锡磷青铜合金,通过对生产加工工艺进行调整,可改善C5191锡磷青铜合金箔带的力学性能,同时具有高的抗疲劳性能,屈强比达到0.95,可满足电子工业用高性能铜合金箔带的使用要求。
电子工业用玻璃布的应用与标准(下)
电子工业用玻璃布的应用与标准(下)
《电子工业用气体:氢(GB/T 16942-2009)》由中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局,中国国家标准化管理委员会发布。
1998年6月17日,《电子工业用硅酸钾溶液》发布。
1998年12月1日,《电子工业用硅酸钾溶液》实施。
近日,国内气相白炭黑市场持稳运行。气硅货源仍紧张,企业挺价心态依旧。四氯化硅上周环比上涨1000元/吨,均价约5500元/吨,涨幅超过20%;三氯氢硅企业开工骤降,供应十分紧张。
业内表示,经高度提纯的四氯化硅,主要用于光纤行业生产光纤预制棒等领域。目前我国高纯四氯化硅主要依赖进口,2017年国内高纯四氯化硅需求在5万-6万吨,进口占比高达80%。据测算,2017-2022年国内高纯四氯化硅的需求复合增速将达到12%,市场空间较大。
相关上市公司:
三孚股份(25.40 +5.09%,诊股):高纯四氯化硅产能一万吨,在建高纯四氯化硅产能2万吨/年。
新安股份(17.01 -3.46%,诊股):搭建了完整有机硅产业链,并有部分气相法白炭黑产能。