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中国计量科学研究院、北京市理化分析测试中心、广州特种承压设备检测研究院、布鲁克(北京)科技有限公司、江南石墨烯研究院、纳米技术及应用国家工程研究中心、上海交通大学分析测试中心、中国计量大学。
本标准规定了二维材料厚度测量 原子力显微镜法的原理、仪器设备、样品前处理、测试方法、厚度计算方法、测量结果的不确定度评定及测试报告。
本标准适用于可以与基底形成台阶的二维材料厚度测量。
卜天佳、任玲玲、姚雅萱、张梅、魏晓晓、尹宗杰、黎佩珊、仇登利、魏岳腾、董国材、张小敏、何丹农、张迎、陶兴付、李慧琴、吴琼、张晶晶。
原子力显微镜:是一种利用原子,分子间的相互作用力来观察物体表面微观形貌的新型实验技术.它有一根纳米级的探针,被固定在可灵敏操控的微米级弹性悬臂上.当探针很靠近样品时,其顶端的原子与样品表面原子间的作用...
一般实验室用的几百到几万都有。一分钱一分货。
金相显微镜这个要用到金相显微镜,价格在4500元到300000元左右,具体是要看您需要什么样的配置!
原子力显微镜在宝钢材料显微结构分析领域的应用
作为扫描力探针显微镜(SPM——SCAN PROBE MICROSCOPE)的重要成员,原子力显微镜(AFM——ATOMIC FORCE MICROSCOPE)不仅是重要的纳米材料表征的手段,而且在钢铁行业中也有着令人兴奋的应用前景,文章通过一些典型试验说明这台设备在钢铁材料显微研究中的重要作用。
随着科技的进步和精密仪器的应用,薄膜厚度的测量方法有很多,按照测量的方式分可以分为两类:直接测量和间接测量。直接测量指应用测量仪器,通过接触(或光接触)直接感应出薄膜的厚度,常见的直接法测量有:螺旋测微法、精密轮廓扫描法(台阶法)、扫描电子显微法(SEM);间接测量指根据一定对应的物理关系,将相关的物理量经过计算转化为薄膜的厚度,从而达到测量薄膜厚度的目的。常见的间接法测量有:称量法、电容法、电阻法、等厚干涉法、变角干涉法、椭圆偏振法。按照测量的原理可分为三类:称量法、电学法、光学法。常见的称量法有:天平法、石英法、原子数测定法;常见的电学法有:电阻法、电容法、涡流法;常见的光学方法有:等厚干涉法、变角干涉法、光吸收法、椭圆偏振法。
在薄膜沉积过程中要监控薄膜的厚度,首先要能够测量薄膜的厚度。薄膜厚度在线测量的方法主要有:测量电阻法、质量法、反射透射光谱法和椭圆偏振光谱法等等,它们通过测量这些物理参量来实现膜厚的监控。
在以上的方法中,电阻法最容易实现,而质量法应用最广,光学监控方法主要应用于光学镀膜领域。
当今微电子薄膜,光学薄膜,抗氧化薄膜,巨磁电阻薄膜,高温超导薄膜等在工业生产和人类生活中的不断应用,在工业生产的薄膜,其厚度是一个非常重要的参数,直接关系到该薄膜材料能否正常工作。如大规模集成电路的生产工艺中的各种薄膜,由于电路集成程度的不断提高,薄膜厚度的任何微小变化,对集成电路的性能都会产生直接的影响。除此之外,薄膜材料的力学性能,透光性能,磁性能,热导率,表面结构等都与厚度有着密切的联系。