从集成电路制造中各部门的分工来说，光刻是为工艺集成（process intergration）服务的。最直接支持工艺集成的是光刻工艺工程师（lithography process engineer），又被称为“layer owner”。一个完整的集成电路制造流程有几十个光刻层，这些光刻层按技术的类似程度分配给光刻工艺工程师，使得他们分别负责一个或者几个光刻层。

光刻工艺工程师对所负责的光刻层做工艺参数的设置、优化；对工艺稳定性做日常监测，并及时解决出现的技术问题。2100433B

一、合格的工艺工程师必须非常熟悉产品的设计、制作工艺、包装、运输及产品的配套使用功能；在本行业属通才，了解所有工序工艺；

二、编制工艺流程，下生产指令单之前对产品制程工艺的核定；

三、规范与公司产品配套使用的采购产品工艺、使用功能要求，并签样板给供应商、品质部、采购部；

四、对新产品进行可生产性的评估，打样评估；

五、做好预先品管，提醒生产过程及检测时的品质注意事项。

前文中指的合格工艺工程师，必须熟悉那么多么？

熟悉这么多的是为采购、生产等提供全套工艺方案的工艺工程师-------那就是主工程师。是系统工艺设计师或工艺构架师，相当工艺总监的水平。而按各大的工序又可以分为产品工艺设计师（属于在产品开发阶段的人才），制程工艺师（属于生产制造阶段），包装和运输常划到一个段（包装就是为了保障运输周转安全的）属于包装工艺师，支持采购与供应商之间业务的工艺人才有两类，外协类和外购类，外协类的就是相当于公司主营业务外的供方核心业务的工艺师，外购类的多数不用工艺师，而是与souring联手的对新材料，新部件，可替代品在自己产品上验证的那类工艺师（对产品的原理和性能掌握更多，也要熟悉制程，成本相关的理念，属于专业比较NB的那一类）， 材料在库房如何能保证安全仓贮以及公司内部流转安全的，也有称其为物流工艺师的（与包装运输那一角色，基本属于内外之分，但侧重略有差别）。

在平面晶体管和集成电路的制造过程中，要进行多次光刻。为此，必须制备一组具有特定几何图形的光刻掩模。制版的任务就是根据晶体管和集成电路参数所要求的几何图形，按照选定的方法，制备出生产上所要求的尺寸和精度的掩模图案，并以一定的间距和布局，将图案重复排列于掩模基片上，进而复制批量生产用版，供光刻工艺曝光之用。

光刻图形缺陷的来源主要有三种：一是材料带来的，例如，光刻胶过期形成的悬浮颗粒；二是设备产生的，例如，旋涂时匀胶显影机内的颗粒掉在晶圆表面；三是不完善的工艺产生的，例如曝光条件偏离了最佳点，导致图形质量下降，出现图形丢失（missing pattern）。

为了确保工艺中尽量少地出现缺陷，在光刻中一般分两个部分来监测。一是旋涂后光刻胶薄膜中颗粒的监测，即所谓旋涂缺陷（coating defects）。二是曝光后图形的缺陷检测。