测径仪激光扫描

这也是用得较多的一种，激光扫描测径仪利用旋转的八面镜将射来的激光扫描成光带，再由被测物在光带上形成阴影宽度，其投影宽度可以通过光电二级管接收并转换为数字信号测量得来。其主要适合大直径测量，据有精度高，测量速度快等特点。激光扫描测径仪精度最高可达0.5um，小直径测量由于其光斑本身比被测物大，且产生干涉衍射现象，不容易较好的测量。

激光扫描测径仪的构成是由激光二极管发出的光，经过八面镜的扫描形成平行光带通过F(θ)镜形成侧量区域，然后被测物在光带中形成的阴影在信号处理器9计算出它的大小。

测径仪CCD投影

由于电机速度毕竟有限，而且扫描的平行光带不太容易保证，再加上平行光管与CCD的技术的发展，很多企业开始采用CCD成像法测量直径，其光源采用波长较长的红外光，抗干扰较强，由于少了许多机械件，所以设备较稳定可靠，但CCD成像受相素的制约，在精度上不太容易拓展，特别是大直径的物体测量，但又不能太细，太细会有扫描测径仪相同的问题。

测径仪激光衍射

利用衍射原理测量细线的直径，此技术与前两项刚好相反，只适用于测小直径的细丝，而且越细越好，因为此技术是利用衍射原理，理论只有当波长与被测物相近或大于被测长物时衍射最明显。测量5um到300um的细丝是没问题的，据说可以测量到500um。其精度由于限于标准样件和测试环境的影响，只有0.2um左右，但其重复性精度相当高，所以只要有标准样件和良好的测试环境，精度是可以再次大提高的，这也是细丝测径仪的一个发展方向。2100433B

ZM100激光扫描测径仪由两部分构成：发射器1 和接收器2。激光发光二极管3的光通过光学系统4形成了光幕。被测物体5的阴影图像通过望远镜系统6最终形成在线性CCD阵列7上。信号处理器9计算出它的大小。激光扫描测径仪通过线路与计算机连接，可通过与它对应的开发软件显示在电脑显示屏上，测试人员可以通过计算机软件反映的数据对激光扫描仪进行控制。

激光扫描测径仪可用于物体尺寸的非接触测量与控制，如零件高度、边缘、直径、线径、宽度、间隙、内径、外径等。有效降低了生产后的单件检验成本，并能有效节省原物料的损耗，降低人员需求。随着科技的发展，测量技术与计算机技术、互联网技术相结合，测量技术也会向着自动化、智能化、简单化的发展趋势。