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晶圆工艺是从大的方面来讲,晶圆生产包括晶棒制造和晶片制造两大步骤,它又可细分为以下几道主要工序(其中晶棒制造只包括下面的第一道工序,其余的全部属晶片制造,所以有时又统称它们为晶柱切片后处理工序)。
不算工艺品.工艺品概念:工艺品,手工艺的产品,即通过手工将原料或半成品加工而成的产品,是对一组价值艺术品的总称。它包括的种类很多,有漆器,陶器,瓷器,民间工艺,木雕工艺品,桦树皮工艺品,麦秸工艺品,石...
制作原木工艺品的方法和流程: 选材:取东南亚原始森林100-300年原木 方材定型: 为干燥处理 人工干燥:将木材密封在蒸气干燥室内,借蒸气促进水分蒸发,使木材干燥。了改善木材的弯曲性能,增加塑性变形...
看你的焊接位置了 如果是全位置焊接,板材不厚的情况下,电流在100至200间。电压在18到25.主要是看你的焊机性能和所用焊丝。只要记住一点,不管出于何种角度,运调方式都是水平...
圆钢弯曲施工工艺
圆钢弯曲施工工艺 在津滨轻轨工程中,地脚螺栓、柱间支撑均由圆钢制作,在制作 过程中需要弯曲成型。 根据厂房内实际加工情况, 我们采用加热成型 的方式对地脚螺栓柱间支撑进行成型加工。 一、 加热方式 在热加工方面, 常用的有两种加热方法, 一种是利用乙炔火焰进 行局部加热,这种方法简便,但是加热面积较小。一种是放在工业炉 内加热,它虽然没有前一种方法简便,但是加热面积很大。考虑到具 体的加工条件和构件,我们采用乙炔火焰加热的方式进行加热。 二、 加热时所要求的加热温度范围 当零件采用热加工成型时,加热温度应控制在 900~1000℃;碳 素结构钢和低合金结构钢在温度分别下降到 700℃和 800℃之前应结 束加工。加热温度过高,加热时间过长,都会引起钢材内部组织的变 化,破坏原材料材质的机械性能。 三、 钢材加热温度的判断 钢材加热温度可从加热时所呈现的颜色来判断 颜色 温度(℃) 颜色 温
圆柱模施工工艺
圆柱模板施工方案 1. 适用范围 本工艺适用于 XX 工程的钢筋混凝土独立圆柱 ,本方案为木模板拼装圆柱模 板的安装与拆卸 . 注:依据圆柱的周长及高度制作成。这种模板具有展开和闭合两种形态,即自然 存放时为展开的平板;使用时围裹成近似的圆筒。 根据已完成的工程实例, 圆柱规格范围:直径 D=600 ㎜ 高度:H=2150~7500 ㎜。文体馆分层圆柱高度: 3.6 米、3.9 米、2.15 米;礼堂分层圆柱高度: 7.5 米、2.8 米、5.7 米、6.1 米。因此每层高度不一,均需要分层配模板。 2.施工准备 2.1材料 3mm厚三合板、 50X100木方、12mm厚多层板、Φ10钢筋、Φ14螺杆与配套 螺母 。 2.2机具设备 活口扳手、线坠、榔头、钳子。 2.3作业条件 2.3.1梁、板混凝土浇筑完毕,强度达到 1.2MPa,柱钢筋绑扎完毕。 2.3.2柱模安装操作平台搭设完毕,
晶圆制程工艺,严格说来这是门很复杂的(应用)技术体系。晶圆制程工艺达到1nm会怎样?我认为这个连不少的行内资深人士都不容易给出全面且正确的答案。这就有点像是:现在很多的国家能制造大量的常规燃料火箭(对应于当前半导体行业的主流制程),现在也有少数的国家在研发可重复使用火箭(对应于未来半导体行业的5nm和3nm等制程),再之后可能有少数的国家研制出比可重复回收火箭更先进的航天运输工具(对应于半导体行业的1nm等制程),那么比可重复回收火箭更先进的航天运输工具会是什么样的?现在其实没有人能准确地想象出来(重在应用)。
前不久,有台湾媒体报道过:台积电的创始人张忠谋向媒体记者表示,摩尔定律可能在半导体行业中还会延续10年的时间,台积电等晶圆制造厂商能够研发并投产3nm制程工艺。此后,晶圆制造厂商们能不能研发出可量产的2nm制程工艺,眼下看来还存在不确定性。而晶圆大厂们要研发出可商业化量产的1nm制程工艺,就会面临非常大的难度。
就假设今后确实有少数的晶圆大厂研发出了可商业化的1nm制程,那么会怎么样呢?有人猜想,“这会使采用该技术生产的芯片价格居高不下,这又会导致较少客户选择该项技术,进而恶性循环......从商业因素考虑,大部分芯片设计公司恐怕依旧会选择相对成熟,或者称为相对‘老旧’的制造工艺。”事实上,1nm制程工艺到今天还只是处于实验室研究的阶段。
2016年的时候,网络上出现过一篇文章,其中有这样写到:
芯片的制造工艺常常用90nm、65nm、40nm、28nm、22nm、14nm来表示,比如Intel的六代酷睿系列CPU就采用Intel自家的14nm制造工艺。现在的CPU内集成了以亿为单位的晶体管,这种晶体管由源极、漏极和位于他们之间的栅极所组成,电流从源极流入漏极,栅极则起到控制电流通断的作用。而CPU上形成的互补氧化物金属半导体场效应晶体管栅极的宽度,也被称为栅长。栅长越短,则可以在相同尺寸的硅片上集成更多的晶体管——Intel曾经宣称将栅长从130nm减小到90nm时,晶体管所占得面积将减小一半;在芯片晶体管集成度相当的情况下,使用更先进的制造工艺,芯片的面积和功耗就越小,成本也越低。
栅长可以分为光刻栅长和实际栅长,光刻栅长则是由光刻技术所决定的。由于在光刻中光存在衍射现象以及芯片制造中还要经历离子注入、蚀刻、等离子冲洗、热处理等步骤,因此会导致光刻栅长和实际栅长不一致的情况。另外,同样的制程工艺下,实际栅长也会不一样,比如虽然三星也推出了14nm制程工艺的芯片,但其芯片的实际栅长和Intel的14nm制程芯片的实际栅长依然有一定差距。
前面说了缩短晶体管栅极的长度可以使CPU集成更多的晶体管或者有效减少晶体管的面积和功耗,并削减CPU的硅片成本。正是因此,CPU生产厂商不遗余力地减小晶体管栅极宽度,以提高在单位面积上所集成的晶体管数量。不过这种做法也会使电子移动的距离缩短,容易导致晶体管内部电子自发通过晶体管通道的硅底板进行的从负极流向正极的运动,也就是漏电。而且随着芯片中晶体管数量增加,原本仅数个原子层厚的二氧化硅绝缘层会变得更薄进而导致泄漏更多电子,随后泄漏的电流又增加了芯片额外的功耗。
为了解决漏电问题,Intel、IBM等公司可谓八仙过海,各显神通。比如Intel在其制造工艺中融合了高介电薄膜和金属门集成电路以解决漏电问题;IBM开发出SOI技术——在在源极和漏极埋下一层强电介质膜来解决漏电问题;此外,还有鳍式场效电晶体技术——借由增加绝缘层的表面积来增加电容值,降低漏电流以达到防止发生电子跃迁的目的......
上述做法在栅长大于7nm的时候一定程度上能有效解决漏电问题。不过,在采用现有芯片材料的基础上,晶体管栅长一旦低于7nm,晶体管中的电子就很容易产生隧穿效应,为芯片的制造带来巨大的挑战。
第1章引言1
1.1MEMS制造概述1
1.2共享晶圆工艺5
1.2.1多项目晶圆工艺5
1.3设计规则18
1.4版图20
参考文献27
第2章微观力学30
2.1弹簧30
2.1.1并联弹簧32
2.1.2串联弹簧32
2.2屈曲33
2.3泊松比33
2.4切向应力和切向应变张量35
2.5其他梁36
2.6扭转38
2.7薄膜39
2.8测试结构40
2.9阻尼42
2.10加速度计43
2.10.1悬臂梁44
2.10.2碰撞传感器44
2.11压力传感器46
参考文献51
第3章静电驱动52
3.1机械回复力55
3.2梳状驱动谐振器583.3悬臂梁谐振器60
3.4双端固支梁谐振器60
参考文献64
第4章光学MEMS66
4.1反射悬臂梁光调制器66
4.2单轴扭转镜68
4.3双轴扭转镜:朗讯路由光电转换器72
4.4PolyMUMPs工艺中的法布里—珀罗干涉仪77
4.5获取平整光学MEMS器件82
参考文献85
第5章热学MEMS87
5.1驱动器90
5.2冷臂—热臂式热驱动器91
5.3热压电双晶片96
5.4辐射热计98
5.5热喷墨打印机100
5.6热损伤限制热驱动MEMS100
参考文献102
第6章流体MEMS103
6.1运动方程103
6.2微流体103
6.2.1雷诺数106
6.2.2表面张力107
6.2.3接触角度108
6.2.4毛细上升109
6.3喷墨打印110
参考文献115
第7章封装和测试116
7.1发布116
7.2测试设备117
7.3机械测试118
7.4电气测试119
7.5光学特性120
参考文献122
第8章从原型到产品:MEMS——自适应光学可变形反射镜123
参考文献133
微机电系统(MEMS)设计和原型设计指南135"
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