用电子束(EB)蒸发的TiO₂和SiO₂薄膜系统具有重要的应用。但是用常规的蒸发技术，即使基板的温度高达300℃以上，薄膜仍呈现出明显的柱状结构特性。这种柱状结构的薄膜，由于膜层中包含着大量的空隙，因此随着薄膜滤光片吸潮，膜层折射率升高，滤光片的中心波长就会产生明显的漂移。为了表征这种结构特性，人们提出了聚集密度P，它被定义为薄膜中固体部分的体积与总体积之比。所以它是一个描述薄膜疏松程度的物理量。

随着离子镀膜技术的发展，诸如离子辅助淀积(IAD)，反应离子镀(RIP)和离子束溅射(IBS)等，薄膜的聚集密度得到了显著的提高，甚至已经有实验报道，有些薄膜的聚集密度大于1。这意味着薄膜的密度比自然界中的大块材料的密度还要高，原因是在高聚集密度的薄膜中，常常呈现出较大的压应力，致使薄膜具有更高的聚集密度。但是，即使薄膜的聚集密度大于1，滤光片中心波长仍会出现漂移。已经认识到，影响薄膜滤光片中心波长漂移的不仅是聚集密度，而且还有薄膜与基板的温度折射率系数和热膨胀系数。所以滤光片的中心波长漂移可以简单地表示为Δλ=薄膜空隙吸潮引起的漂移 温度折射率变化引起的漂移 热膨胀引起的漂移。

显然，当采用离子技术使聚集密度提高到1时，吸潮引起的中心波长漂移已可忽略不计，而其他两种因素上升为主要因素。本文仅从一般工艺出发，着重考察一下TiO₂/SiO₂组成的三腔滤光片的光学稳定性与上述三种因素的关系。实验结果显示，在可见光区域，对于聚集密度约为0.92的膜系，这三种因素中，吸潮引起的中心波长最大，数量级在10 nm左右。对于胶合的膜系来说，膜系空隙中水汽折射率随温度的上升而下降引起的中心波长短移大约在1×10^-2nm/℃量级。而热膨胀引起的漂移大约在1×10^-3nm/℃量级。

吸潮引起的漂移

由于薄膜是柱状结构，柱状结构间存在空隙，吸潮前空隙内空气的折射率为1，吸潮后空隙被水汽填充，折射率变为1.333，因而膜层的折射率，进而光学厚度和光谱特性均引起变化，这就是吸潮引起的光学不稳定性。

将我们制备的膜系结构(HLH2LHLHL)³以及相应的折射率代入，并且根据我们的工艺条件，TiO₂和SiO₂的聚集密度大约在0.92左右，由此对于不同中心波长的红、绿、蓝滤光片，可以计算出相应的吸潮引起的中心波长漂移。在f=1(即完全吸潮)的情况下，针对TiO₂和SiO₂的不同聚集密度，计算出的一系列中心波长漂移见表1。

从表中可以看出，吸潮情况下低折射率材料SiO₂的聚集密度对中心波长的漂移起着主要作用。高折射率材料聚集密度的不同引起的中心波长漂移差别只有1 nm左右，而低折射率材料却有大约3 nm的变化。原因在于低折射率材料吸潮后，折射率上升相对于原来折射率的比例很高，相当于光学厚度增加的比例大，导致漂移大。更重要的是，SiO₂是作为膜系的间隔层，而间隔层对中心波长漂移的影响是最大的。

综上所述，用温度升高薄膜内原来占据空隙的水汽被蒸发导致中心波长短移的理论可以较好地解释我们实验得到的数据，并且可以由此推导出我们制备的SiO₂的聚集密度大约在0.92～0.95之间。理论分析和工艺条件的分析相吻合。

温度引起的漂移

除了吸潮引起的中心波长漂移以外，温度升高引起的膜层折射率的变化，以及膜系热膨胀引起的厚度变化也会引起膜层光学厚度的变化，从而导致中心波长发生漂移。不仅如此，由于基板的热膨胀系数与膜系的热膨胀系数不同，在受热的情况下，膜系会受到基板应力的作用发生弹性形变，从而聚集密度发生变化，也会导致中心波长发生漂移。理论可以用来定量地分析温度上升所引起的中心波长漂移。其中主要的因素就是材料的折射率温度系数、基板的线性热膨胀系数、材料的泊松比、膜系的线性热膨胀系数、膜层的聚集密度等。关于各种材料的折射率随温度变化的数据非常缺乏，尤其是薄膜形态材料的数据.据文献报道，不同材料的折射率温度的变化差异很大，比如碲化物呈现出负的数值，而一般材料折射率都随温度的上升而增大。在我们的膜系中，由于是SiO₂作为间隔层，因此SiO₂的折射率温度系数起主要的作用。文献中有晶体石英在可见光范围内o光和e光的折射率，见表2。也有熔融石英在红外的折射率温度系数，在1550 nm时约为 1.1×10^-5/℃，但是很难查到在可见光区域内的数据。根据上述的数据，我们可以推断可见光区SiO₂薄膜的折射率温度系数大概为 0.5×10^-5/℃左右。基板的热膨胀系数，对K9玻璃在-30～70℃范围内为74×10^-7/℃，在100～300℃范围内为86×10^-7/℃。膜系的热膨胀系数在5.5×10^-7/℃左右，泊松比取0.1。

根据以上的理论分析和参量设定，计算得到在70℃以下，绿色滤光片的中心波长的温度漂移为-0.00088 nm/℃，在100℃以上，中心波长的温度漂移为-0.001459 nm/℃，对于不同颜色的滤光片，数值略有不同，但量级都在-1×10^-3 nm/℃，10℃的温度变化也只会引起-10^-2nm量级的漂移，而实验观测到的漂移无论对单片还是胶合样品都在1 nm的量级，所以上述计算的结果并不是主要因素。

对于双片胶合的样品而言，聚集密度不等于1时，其中的空隙多由水汽所填充，胶合以后，这些水分子仍然存在，不能蒸发脱离出薄膜。根据文献显示，水的折射率温度变化相对薄膜材料是比较大的，具体数据见表3。它的量级在10^-4/℃，比SiO₂高一个量级，并且随着温度的上升，折射率下降速度加快。对于聚集密度0.9而言，水分子折射率温度系数的作用跟膜层材料的作用已经可比拟，甚至更大。

从表中我们看到，水的折射率从20℃到80℃下降了大约0.01，按照0.9的聚集密度来计算，由膜层中的水折射率下降引起膜层折射率温度系数-2×10^-5/℃，可见它完全可以抵消SiO₂折射率随温度的上升，使整个膜系呈现负的折射率温度系数，此时膜系的折射率系数变为-1.5×10^-5 nm/℃，室温到70℃的温度漂移是-0.6 nm，跟实验结果0～-2 nm处于同一个数量级。对于70℃以上的情况，没有水的折射率变化的数据，但考虑到100℃以后水从液态逐渐变为气态，折射率的下降会更快，所以从这个角度能够合理解释胶合滤光片中心波长随温度的短移。

我们认为，对于未胶合单片的滤光片，室温下薄膜柱状结构中的空隙几乎完全被水分子所填充，在温度上升到70℃时，柱状结构中80%～90%左右的水分子被蒸发脱离出薄膜，而在70℃到120℃的时候，剩余的10～20%左右的水分子也被蒸发脱离出薄膜。因此导致了在70℃到120℃的中心波长漂移。实验数据中这种漂移的数值在1～2.5 nm之间，确实是室温到70℃漂移值的1/5左右。实验还反映，100℃到120℃的漂移小于70℃到100℃范围的漂移，这也符合我们的分析。

研究结论

通过对红、绿、蓝三种带通滤光片在温度影响下中心波长漂移的实验，我们分析了造成这种漂移的原因。这其中有三种因素起着作用。对于未胶合滤光片，薄膜柱状结构空隙中原本填充的水分子随温度升高被蒸发而引起的折射率下降是主要因素，它造成了中心波长的短移。这种短移随薄膜的聚集密度而变化。对于聚集密度为0.92的膜系，短移的数值在10 nm的量级。这种解吸潮的过程在室温到70℃的范围内最明显，有80%到90%的水被蒸发出来，而在70℃以上，残余的10%～20%的水分也被蒸发出来。对于胶合的滤光片，造成中心波长短移的原因在于填充薄膜空隙的水汽的折射率随温度上升而下降，而且这种下降的速度远大于薄膜材料折射率随温度上升和几何厚度热膨胀引起的增量的速度，因此引起光学厚度下降、中心波长短移。这种短移的量级大约在-1×10^-2 nm/℃。最后，对于聚集密度很高的膜系而言，材料的折射率温度系数、基板的热膨胀系数是决定中心波长漂移的重要因素。通过计算，对于可见光的范围，这种漂移的量级在1×10^-3nm/℃左右，方向由基板的热膨胀系数决定。

根据以上的分析，可以制定改善膜系温度稳定性的措施。首先，提高膜系的聚集密度是一个最重要的手段。聚集密度的提高减少了吸潮的影响，而吸潮是对稳定性影响最大的因素。把薄膜胶合在玻璃基片之间也是一个很好的措施，它可以使漂移下降到10^-2nm/℃量级。除了提高薄膜的聚集密度以外，选择折射率温度系数小的材料、或是折射率温度系数正负相反的材料来制备膜系，同时选择适当热膨胀系数的基板也是措施之一，这在红外并且聚集密度接近一的情况下尤为重要。

滤光片产品主要按光谱波段、光谱特性、膜层材料、应用特点等方式分类。

光谱波段：紫外滤光片、可见滤光片、红外滤光片；

光谱特性：带通滤光片、截止滤光片、分光滤光片、中性密度滤光片、反射滤光片；

膜层材料：软膜滤光片、硬膜滤光片；

硬膜滤光片不仅指薄膜硬度方面，更重要的是它的激光损伤阈值，所以它广泛应用于激光系统当中，面软膜滤光片则主要用于生化分析仪当中。

带通型： 选定波段的光通过，通带以外的光截止。其光学指标主要是中心波长（CWL），半带宽（FWHM)。分为窄带和宽带。比如窄带808滤光片NBF-808。

短波通型(又叫低波通)：短于选定波长的光通过，长于该波长的光截止。 比如红外截止滤光片，IBG-650。

长波通型(又叫高波通)：长于选定波长的光通过，短于该波长的光截止 比如红外透过滤光片，IPG-800。

滤光片同步功能

该技术能控制摄像机，红外灯、滤光片、彩转黑同步切换。 稳定性具有自动定位和防抖动功能， 光线在零界点时，不会产生闪烁。 快速切换一步到位，不会中途因阻力卡住而停顿，产生滤光片偏位。 不会因云台旋转，停止等变化和振动造成滤光片移位。 不会在高速切换时，因碰撞而反弹，造成滤光片位置定位不准确。

滤光片图像色彩还原

水晶滤光片能最大限度地解决伪彩，色飘等问题。 在水晶上增加AR-COOTRMG重度膜，可达到98%光线的穿透性。 白天切换到水晶滤光片状态，能很好的感应可见光，阻止红外线和别的光干扰，是色彩鲜艳逼真， 夜晚切换到镀有通透膜的滤光片，可达到100%光线穿透性。摄像机感应红外线更多，而且绝大部分的波长的光线可以通过，摄像机同时彩转黑，所以红外距离更远更清晰。

能从紫外到红外任意波长﹑λ为 1～500埃的各种干涉滤光片。金属－介质膜滤光片的峰值透射率不如全介质膜高，但后者的次峰和旁带问题较严重。薄膜干涉滤光片中还有一种圆形或长条形可变干涉滤光片，适宜于空间天文测量。此外，还有一种双色滤光片，它与入射光束成45°角放置，能以高而均匀的反射和透射率将光束分解为方向互相垂直的两种不同颜色的光，适合于多通道多色测光。干涉滤光片一般要求垂直入射，当入射角增大时，向短波方向移动。

这个特点在一定范围内可用来调准中心波长。由于λ和峰值透过率均随温度和时间而显著变化﹐使用窄带滤光片时必须十分小心。由于大尺寸的均匀膜层难于获得﹐干涉滤光片的直径一般都小于50毫米。有人曾用拼合方法获得大到38厘米见方的干涉滤光片﹐装在英国口径 1.2米施密特望远镜上﹐用于拍摄大面积星云的单色像。

其主要特点是尺寸可做得相当大。薄膜滤光片，一般透过的波长较长﹐多用做红外滤光片。后者是在一定片基，用真空镀膜法交替形成具有一定厚度的高折射率或低折射率的金属-介质-金属膜，或全介质膜，构成一种低级次的﹑多级串联实心法布里-珀罗干涉仪。膜层的材料﹑厚度和串联方式的选择，由所需要的中心波长和透射带宽λ确定。

滤光片的作用很大。广泛用于摄影界。一些摄影大师拍摄的风景画，为什么主景总是那么突出，是怎样做到的？这就用到了滤光片。比如你想用相机起拍一朵黄花，背景是蓝天、绿叶，如果按照平常拍，就不能突出“黄花”这个主题，因为黄花的形象不够突出。但是，如果在镜头前放一个黄色滤光片，阻挡一部分绿叶散射出的绿光、蓝天散射出的蓝光，而让黄花散射出的黄光大量通过，这样，黄花就显得十分明显了，突出了“黄花”这个主题。

滤光片是塑料或玻璃片再加入特种染料做成的，红色滤光片只能让红光通过，如此类推。玻璃片的透射率原本与空气差不多，所有有色光都可以通过，所以是透明的，但是染了染料后，分子结构变化，折射率也发生变化，对某些色光的通过就有变化了。比如一束白光通过蓝色滤光片，射出的是一束蓝光，而绿光、红光极少，大多数被滤光片吸收了。

滤光片颜色滤光片

这是各种颜色的平板玻璃或明胶片，其透射带宽数百埃，多用在宽带测光或装在恒星摄谱仪中，以隔离重叠光谱级次。其主要特点是尺寸可做得相当大。

滤光片薄膜滤光片

一般透过的波长较长，多用做红外滤光片。后者是在一定片基上的。

宽带滤光片通常可以用短波通和长波通滤光片组合而成。考虑到膜层吸收特性，某些短波通或长波通滤光片其本身就可以当作宽带滤光片。截止滤光片膜系可以镀在不同的基片上，若干不同截止波长的截止滤光片可组成一套具有不同半宽度和峰值波长的宽带滤光片，一般情况下，这样组成的宽带滤光片，不适用于成像系统，因为膜系之间的多次反射可能会造成鬼像。为了消除鬼像，必须把整个薄膜滤光片都镀在基底的同一侧，最有效的设计方法仍然是采用对称周期膜系。

采用对称周期膜系时，可用等效单层膜来表示短波通膜系和长波通膜系，这样有三个需要匹配的界面，假如用A和B表示两个等效膜，其中B靠近基片，则在基片和B，B和A及A和入射介质之间都需要考虑匹配膜层，用简单的

某些多半波滤光片膜系(即含有多个半波层的膜系)也可以构成宽带滤光片，例如全介质四半波滤光片：

以长波通与短波通滤光片来合成窄带滤光片在工艺上非常困难，因为制膜时截止波长、中心波长和半宽度都很难控制，所以通常以法布里一珀罗干涉仪(简称F—P干涉仪或F—P标准具)来设计窄带滤光片，其设计原理与其他膜系完全不同。

根据物理光学的有关知识，F—P干涉仪由两块高反射率，间隔为d的平行反射板组成，如图2所示，如果用介质层来代替平行反射板之间的空气层，在介质层两侧镀制高反射膜层，就可得到具有F—P干涉仪光谱性质的膜系。

根据多光束干涉理论，通过F—P标准具的透过率为

式中，

令

式子的特点是相位关系和振幅关系可以分别研究，

固体滤光片

solid filter

正确的说法是固体玻璃滤光片。系一般摄影用的滤光片。针对镜头口径可选择的品咱很多（49毫米，52毫米等）。与醋酸滤光片和明胶滤光片相对地大多是指玻璃滤光片。