清华大学光电工程研究所在科研工作中一贯注意选择国际研究的前沿课题，不断创新。在光电子与仪器原理和设计、精密计量测试理论与系统、近代光学信息处理和二元光学理论与器件、双折射频率分裂激光器等诸多领域进行了长期系统深入的研究工作, 并取得一系列重大的成果。近年来，在国际学术前沿努力拼搏的同时，也注重解决国民经济中所需技术的研究和开发。

实验室有一千多平方米，具有千万元的先进仪器设备。为开展高水平科研和培养研究生提供了良好的条件。

清华大学光电工程研究所的前身为清华大学光学仪器教研室，成立于1958 年。1981年光电所被确定为首批博士点。1988年被评为光学工程重点学科，设立博士后流动工作站，是精密测试技术及仪器国家重点实验室清华实验区中心实验室。在2001年教育部重点学科评估和2003年全国一级学科排序评估中均获得了光学工程学科第一名，本所承担着国家“973”、“863”和国家自然基金研究项目等约18项，2001年至2005年期间发表SCI论文150篇，2篇博士学位论文获全国百篇优秀博士论文奖。

光电工程研究所有：工程院士1名（金国藩）， 教授11名，副教授5名，我国著名光学专家、学部委员王大珩为兼职教授,原中国计量科学研究院院长赵克功研究员为客座教授。

激光测量学

高效率衍射光学器件设计与制备

多束激光热轧带钢板形测量技术研究及装置开发

非接触式激光调频光纤位移测量仪

远程双频直线度同轴度测量干涉仪

激光纵模分裂原理、现象及其在激光物理和计量学中应用基础研究

双偏振竞争位移传感激光器

同轴度误差检测

HQD激光光密度扫描仪

昆虫运动机理研究

同步辐射用大型非球面光学表面轮廓测量系统的研究

基于合成波长条纹细分原理的纳米测量系统

现代制造质量控制、溯源的若干理论与技术基础研究-1

现代制造质量控制、溯源的若干理论与技术基础研究-2

纳米测量干涉仪

远程双频直线度测量

表面等离子体波亚纳米指零方法和器件的研究

X射线干涉技术用于纳米测量的研究

固体推进剂燃烧火焰温度分布测试

棱镜调整及误差补偿研究

生物医学微光电系统

在线光谱技术

基于激光频率分裂的波片位相延迟测量原理和技术研究

塞曼-双折射双频激光器

光纤光栅波长移动线性测量方法及波分复用多点传感研究

激光回馈效应在动态位移测量及细胞表面测量中的应用

激光微束细胞操作系统的研究

直11型直升机旋翼挥舞、摆振激光动态测试系统

棉花色度仪

智能化光电光谱技术及应用

近场光学与近场光学显微镜

远场光钳与近场光钳

近场光学存储机理研究

运动目标空间位置激光跟踪测量

体全息存储机理研究

衍射光栅

二元光学

惯性约束聚变系统中的衍射光学

光学子波变换与图像识别

光电混合图像处理与识别技术

波分复用技术

微光谱器件与集成技术

生物芯片用并行共焦探测技术

简介

清华大学机械电子工程研究所成立于2013 年8 月30 日，是新机械系适应清华大学机械工程学科发展需要，为促进机械电子工程二级学科发展而建成。清华大学机械电子工程研究所目前有IC 装备、机器人、数控三个研究团队，在职教师20 名，其中IC装备团队入选科技部重点领域创新团队。所长朱煜教授入选国家“万人计划”首批科技创新领军人才，也是02 国家科技重大专项专家组副组长。

教学成果与人才培养

清华大学机械电子工程研究所致力于培养机械电子工程方向具有坚实基础理论和解决工程实际问题能力的优秀人才。近年来获得了丰硕教学成果，包括：北京市教育教学成果（高等教育）一等奖1 项，清华大学教学成果二等奖1 项，清华大学实验技术成果奖一等奖1 项、二等奖1 项，北京市高等教育精品教材1 项，清华大学优秀教材二等奖1 项。指导学生参加“中国机器人大赛暨RoboCup 公开赛”，共获得6 项冠军、3 项亚军和6 项季军。举办海峡两岸机器人邀请赛及学术交流会1 次。此外，多名老师先后获得清华大学优秀班主任一等奖。

学科方向

清华大学机械电子工程研究所有IC 制造装备及超精密测控、机器人与自动化技术及装备、先进数控技术与智能系统三个学科方向。在超精密动力学系统与控制、纳米精度工程与测控技术、IC 制造装备精密机电系统、机器人与仿生学、特种机器人技术及应用、航空制造数字化与自动化、机电数控技术及应用、流体传动及控制等领域开展教学与科研工作。建有IC 装备精密机械与测控工程研究中心、机器人与自动化实验室、航空航天自动化技术实验室、数控技术实验室等教学科研基地，还拥有工业机器人、纳米级超精密工作台、亚微米精度三坐标测量机、亚纳米分辨率双频激光干涉仪、500 平方米超净间等教学科研设施，为高水平教学和科研工作提供有力支持。

科研成果

清华大学机械电子工程研究所在极端制造装备、航空航天等国家主流行业具有重要影响力，共完成国家和企业科研课题70 余项，获国家和省部级奖3 项，军队科技进步奖1 项，已申请国内外发明专利150 余项，出版学术专著4 部，发表论文近400 篇，年均科研经费超过0.5 亿元。2005 年自主研制成功国内第一个10nm 精度同步运动实验台，2011 年研制了我国第一台可实现交换的光刻机双工件台，2013 年实现5nm 运动精度；2012 年面向国家航空航天领域重大需求，研制出具有国际先进水平的国内首台大型超长14 自由度冗余管道特种喷涂机器人系统；2013 年研制成功国际首个用于机床运动部件悬浮驱动的超导系统。以上进展为国家科技创新与发展做出了突出贡献。 2100433B

岩土工程研究所承担着本科生《土力学》、《工程地质》、《地球与人类环境》、《城市水环境工程》、《城市岩土工程》以及研究生《高等土力学》、《环境岩土工程》、《土动力学与土工抗震工程》、《岩土灾害》等多门课程的教学任务，其中《土力学》系列课程被评为清华大学、北京市和国家级精品课，《高等土力学》为清华大学精品课。曾经获得多项教学成果奖。

清华大学岩土工程研究所有在职教职工15人，其中包括中国工程院院士、加拿大工程院院士李焯芬教授，有教授4人、副教授5人，讲师2人，其中博士生导师6人。在读博士和硕士研究生约50人。岩土工程研究所是中国土木工程学会土力学与岩土工程分会挂靠单位，中国土工合成材料技术协会理事长单位，中国振动工程学会土动力学分会理事长单位。研究所的教授还兼任《土木工程学报》副主编以及国内外十多种重要学术期刊编委等工作。