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三甲基铝

溶于乙醚、饱和烃类等有机溶剂。在苯中为二聚体，甚至在气相中也有部分二聚体。三甲基铝在空气中燃烧。遇水爆炸，生成氢氧化铝与甲烷。为路易斯酸，能与给予体如胺类、膦类、醚类及硫醚类结合。本品可由金属铝与二甲基汞加热制得;或由金属铝与卤甲烷制成三卤代三甲基二铝，然后再与金属钠反应制得。三甲基铝用作烯烃聚合催化剂、引火燃料，也用于制取直链伯醇和烯烃等，可用于金属有机化合物气相沉积。

三甲基铝基本信息

中文名称三甲基铝
外文名称Trimethylaluminium
分子式C3H9Al
分子量72.08

三甲基铝安全术语

S16 Keep away from sources of ignition. 远离火源。 S24/25 Avoid contact with skin and eyes. 避免与皮肤和眼睛接触。 S36/37/39 Wear suitable protective clothing, gloves and eye/face protection. 穿戴适当的防护服、手套和护目镜或面具。 S45In case of accident or if you feel unwell, seek medical advice immediately (show the label whenever possible.) 若发生事故或感不适，立即就医(可能的话，出示其标签)。 S61 Avoid release to the environment. Refer to special instructions / safety data sheets. 避免释放至环境中。参考特别说明/安全数据说明书。

三甲基铝造价信息

市场价
信息价
询价

三羟甲基丙烷

规格型号：
国产25kg/包装
价格行情：
材料单位：
t
材料品牌：
材料税率：
13%
供应商：
天津宇田科贸有限公司
报价时间：
2022-12-06

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三羟甲基丙烷

规格型号：
进口25kg/包装
价格行情：
材料单位：
t
材料品牌：
材料税率：
13%
供应商：
天津宇田科贸有限公司
报价时间：
2022-12-06

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201甲基硅油

规格型号：
500ML
价格行情：
材料单位：
瓶
材料品牌：
材料税率：
13%
供应商：
成都鑫源实验设备经营部
报价时间：
2022-12-06

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甲基纤维素

规格型号：
20kg/包品种:甲基纤维素
价格行情：
材料单位：
kg
材料品牌：
凯鑫
材料税率：
13%
供应商：
重庆盈迪贸易有限公司
报价时间：
2022-12-06

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甲基硅醇钠

规格型号：
价格行情：
材料单位：
t
材料品牌：
材料税率：
13%
供应商：
大庆合正化工有限公司
报价时间：
2022-12-06

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钻运立三用机

规格型号：
GH30-IC
价格行情：
材料单位：
台班
材料税率：
地区时间：
汕头市2010年4季度信息价
所属行业：
建筑工程
备注说明：

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钻运立三用机

规格型号：
[GH30-IC]
价格行情：
材料单位：
台班
材料税率：
地区时间：
韶关市2010年7月信息价
所属行业：
建筑工程
备注说明：

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钻运立三用机

规格型号：
GH30-IC
价格行情：
材料单位：
台班
材料税率：
地区时间：
汕头市2010年2季度信息价
所属行业：
建筑工程
备注说明：

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钻运立三用机

规格型号：
GH30-IC
价格行情：
材料单位：
台班
材料税率：
地区时间：
广州市2010年1季度信息价
所属行业：
建筑工程
备注说明：

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钻运立三用机

规格型号：
GH30-IC
价格行情：
材料单位：
台班
材料税率：
地区时间：
广州市2009年4季度信息价
所属行业：
建筑工程
备注说明：

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三甲苯

规格型号：
180kg
需求量：
3467t
报价数：
2
材料品牌：
永齐
材料档次：
中档
费用说明：
不含税费 | 不含运费
询价时间：
2015-05-05

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三甲苯

规格型号：
需求量：
7218kg
报价数：
3
材料品牌：
宏昌
材料档次：
普通
费用说明：
不含税费 | 含运费
询价时间：
2015-07-15

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喷涂甲基SmmA-281

规格型号：
喷涂甲基SmmA-281 Q/SY YHF030-2010
需求量：
1366kg
报价数：
1
材料品牌：
东方雨虹
材料档次：
高档
费用说明：
不含税费 | 不含运费
询价时间：
2015-07-29

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羧甲基纤维素

规格型号：
羧甲基纤维素
需求量：
32400kg
报价数：
1
材料品牌：
材料档次：
中档
费用说明：
含税费 | 含运费
询价时间：
2013-08-20

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羧甲基纤维素

规格型号：
羧甲基纤维素
需求量：
32400kg
报价数：
1
材料品牌：
材料档次：
中档
费用说明：
含税费 | 含运费
询价时间：
2013-08-20

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三甲基铝产品用途

三甲基铝用作烯烃聚合催化剂、引火燃料，也用于制取直链伯醇和烯烃等，可用于金属有机化合物气相沉积。

三甲基铝风险术语

R11 Highly flammable. 高度易燃。 R34 Causes burns. 引起灼伤。 R50/53 Very toxic to aquatic organisms, may cause long-term adverse effects in the aquatic environment. 对水生生物有极高毒性，可能对水体环境产生长期不良影响。 R65 Harmful: may cause lung damage if swallowed. 吞食可能造成肺部损伤。 R67 Vapours may cause drowsiness and dizziness. 蒸汽可能引起困倦和眩晕。

三甲基铝常见问题

三甲基铝的介绍

溶于、饱和烃类等有机溶剂。在苯中为二聚体，甚至在气相中也有部分二聚体。三甲基铝在空气中燃烧。遇水爆炸，生成氢氧化铝与甲烷。为路易斯酸，能与给予体如胺类、膦类、醚类及硫醚类结合。本品可由金属铝与二甲基汞...
三甲基铝的毒性特征

最高容许浓度：0.5 mg/m三甲基铝接触皮肤能引起组织破坏和烧伤。因为三甲基铝太活泼，它不可能以其原形直接吸人体内。它在空气中自燃时发出对人体有害的氧化铝烟雾。这种烟雾能刺激和腐蚀眼、皮肤和呼吸道粘...
三甲基铝的生产方法

①和金属铝反应。②二甲基银和铝作用。③参见三异丁基铝。烷基铝都是无色液体，商品以20%烃类溶液供应。贮运时可用己烷、庚烷、苯、等烃类作为溶剂。空气中自燃。遇水、氧化剂、卤代烃、醇或其它含氧有机物都能起...

三甲基铝基本概述

中文名称:三甲基铝 英文名称:Trimethylaluminium 英文别名:ALUMINUM TRIMETHANIDE; ALUMINUM TRIMETHYL; TMA; (CH3)3Al; aluminiumtrimethyl; Trimethylalane; trimethyl-alane; trimethyl-aluminu; Trimethylaluminum solution; Trimethylaluminiummincolorlessliquid; trimethylaluminum steel flask 0.3 L (net ~150 G); TrimethylaluminumelecgrPURATREMcolorlessliq; Trimethylalumine; TRIMETHYLALUMINUM FOR CAMBRIDGE NANOTECH INC ALD SYSTEMS; TRIMETHYLALUMINUM, 2.0M SOLUTION IN HEXA NES; TRIMETHYLALUMINUM SOLUTION, ~2 M IN HEPT ANE; TRIMETHYLALUMINUM SOLUTION, ~2 M IN TOLE NE; TRIMETHYLALUMINUM, 99.999%, ELECTRONIC GRADE CAS号:75-24-1 EINECS号:200-853-0 分子式:C3H9Al 分子量:72.08

三甲基铝理化性质

熔点(101.325kPa): 15.28℃ 沸点(101.325kPa): 127.12℃ 液体密度(20℃，100kPa): 752kg/m 熔化热(15.28℃，101.325kPa): 122.05 kJ/kg 气化热(127.12℃，101.325kPa): 581.38kJ/kg 比热容(25℃，101.325kPa): 2160.389 J/(kg·℃) 蒸气压(10℃): 0.588kPa (20℃): 1.120Kpa (60℃): 9.133kPa 着火点: 室温 毒性级别: 3 易燃性级别: 3 易爆性级别: 3 三甲基铝在常温常压下为无色透明液体。反应性极强。空气中自燃，瞬间就能着火。与具有活性氢的酒精类、酸类激烈反应。与水反应激烈，即使在冷水中也能产生爆炸性分解反应，并生成甲烷，有时还能发火。在300℃时缓慢分解产生甲烷。与AsH3、PH3、醚类、叔胺及其它路易士碱形成稳定的络合物。能与己烷、庚烷等脂肪烃及甲苯、二甲苯等芳香族烃以任意比例混溶。用烃系溶剂烯释到25%以下的三甲基铝失去其自燃性。 三甲基铝与一些物质混合接触时的危险性如下表所示: 混合接触危 险物质名称 化学式 危险等级 摘要 氯酸钠 NaClO3 A 高氯酸钠 NaClO4 A 过氧化氢 H2O2 A 过氧化钠 Na2O2 B 硝酸铵 NH4NO3 A 硝酸钠 NaNO3 A 高锰酸钾 KMnO4 A 氯苯 C6H5Cl B 有激烈反应的危险 硝酸 HNO3 A 硫酸 H2SO4 A 三氧化铬 CrO3 A 亚氯酸钠 NaClO2 A 溴酸钠 NaBrO3 A 重铬酸钾 K2Cr2O7 B 四氯化碳 CCl4 B 有爆炸的危险性

三甲基铝安全防护

工作时必须穿戴氯乙烯或氯丁橡胶防护服，皮或者尼龙的手套，高腰胶靴，护目镜，防毒(酸性气体用)口罩等。工作场所要通风，保持环境空气新鲜干燥。用钢瓶盛装，液面要用N2、Ar等惰性气体保护。在保护气中的含水及含氧量均应小于20PPm。钢瓶要存放在室外阴凉干燥之处，或易燃液体专用库内，要远离火种、热源、可燃物及能与三甲基铝反应的物质。电气设备必须有防火花装置。库温要低于30℃，相对湿度在75%以下。 有机金属化合物一般没有腐蚀性，可以用碳钢、不锈钢、铜、青铜、黄铜、镍等通用金属材料，但是不能用铅、镁、锡、锌和铝。可用聚四氟乙烯、含聚四氟乙烯或碳的石棉、聚三氟氯乙烯聚合体、聚氯乙烯、聚乙烯、聚丙烯等。 三甲基铝等烷基铝一接触空气就着火，而且还没有有效的灭火方法，所以灭火是比较困难的。着火时，一般的对策是先切断所有火源，隔绝其它可燃物，用干粉、干砂、二氧化碳、砾石等来控制火势，使火灾不蔓延到别处。绝不能使用泡沫及四氯化碳等卤代烃灭火剂。 当三甲基铝泄漏时，首先要切断所有的火源，然后用不燃性分散剂制成的乳剂刷洗。如果没有分散剂，可用干燥砂土吸收后拿到空旷处掩埋，或者用苏打粉混合泄漏液后放在空旷处的大钢盘上，上面用废木料或纸盖住，并在严格监督下烧掉。受污染的地面要用肥皂或洗涤剂洗刷，洗水经稀释后排入废水系统。 有机铝化合物可用煤油、汽油及其它碳氢化合物慢慢地洗涤。对于弱的有机铝溶液，只用水洗。但是在碳氢化合物溶液中使用有机铝化合物时，要防止有机铝化合物着火。

三甲基铝生产方法

①碘甲烷和金属铝反应。 ②二甲基银和铝作用。 ③参见三异丁基铝。 烷基铝都是无色液体，商品以20%烃类溶液供应。贮运时可用己烷、庚烷、苯、甲苯等烃类作为溶剂。空气中自燃。遇水、氧化剂、卤代烃、醇或其它含氧有机物都能起猛烈反应。加热至177~232℃时自行分解并放出相应的如乙烯、丙烯、丁烯等易燃性不饱和烃类气体。铝的有机化合物全部操作要在惰性气体(N2、Ar)中进行。20%的烃类溶液无自燃性，但在空气中仍发烟。这种溶液的闪点为所用溶剂的闪点。溢出溶液与空气作用放出的反应热能使溶剂挥发，增加其着火危险。

三甲基铝储运特性

【贮藏方法】存放在阴凉，干燥，黑暗的环境中，在一个密封的容器或气缸。远离不相容的材料，火源和未受过训练的人。安全和标签区域。保护容器/钢瓶造成物理损伤。

三甲基铝文献

2,4,6-三甲基苯又丙二酸二乙酯的合成工艺

2,4,6-三甲基苯又丙二酸二乙酯的合成工艺

2,4,6-三甲基苯又丙二酸二乙酯的合成工艺

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大小：224KB

页数：未知

【目的】2，4，6-三甲基苯叉丙二酸二乙酯是合成除草剂肟草酮的关键中间体，前人报道的合成方法收率低，而本文报道了新的合成工艺并研究了催化剂种类、用量、原料摩尔比、反应时间和共沸脱水时间对收率的影响。【结果】以哌啶为催化剂，物料比n（2,4，6-三甲基苯甲醛）：n（丙二酸二乙酯）为1：1．5，哌啶用量与2，4，6-三甲基苯甲醛等摩尔，回流4h后，苯共沸脱水4h，收率可达到97．7％（以2，4，6-三甲基苯甲醛计）；用IR、^1HRMR、元素分析表征了其结构。[结论]在最优条件下，以哌啶为催化剂，2，4，6-三甲基苯甲醛与丙二酸二乙酯通过Knoevenagel缩合高收率获得2．4．6-三甲基苯叉丙二酸二乙酯。

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2,4,6-三甲基苯叉丙二酸二乙酯的合成工艺

2,4,6-三甲基苯叉丙二酸二乙酯的合成工艺

2,4,6-三甲基苯叉丙二酸二乙酯的合成工艺

格式：pdf

大小：224KB

页数： 3页

[目的]2,4,6-三甲基苯叉丙二酸二乙酯是合成除草剂肟草酮的关键中间体,前人报道的合成方法收率低,而本文报道了新的合成工艺并研究了催化剂种类、用量、原料摩尔比、反应时间和共沸脱水时间对收率的影响。[结果]以哌啶为催化剂,物料比n(2,4,6-三甲基苯甲醛):n(丙二酸二乙酯)为1:1.5,哌啶用量与2,4,6-三甲基苯甲醛等摩尔,回流4 h后,苯共沸脱水4 h,收率可达到97.7%(以2,4,6-三甲基苯甲醛计);用IR、1H RMR、元素分析表征了其结构。[结论]在最优条件下,以哌啶为催化剂,2,4,6-三甲基苯甲醛与丙二酸二乙酯通过Knoevenagel缩合高收率获得2,4,6-三甲基苯叉丙二酸二乙酯。

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TMA三甲基铝

基本概述 三甲基铝Aluminium trimethyt，Trinethyluminium，TMA 分子式:[(CH3)3Al]2 性质:无色液体，熔点15℃。 沸点126℃。闪点-18℃。密度0.752g/cm3。 主要用途 石油烃聚合的催化剂、火箭燃烯料、化学气相淀积、外延成长、有机合成。 理化性质 分子量: 72.086 熔点(101.325kPa): 15.28℃ 沸点(101.325kPa): 127.12℃ 液体密度(20℃，100kPa): 752kg/m 熔化热(15.28℃，101.325kPa): 122.05 kJ/kg 气化热(127.12℃，101.325kPa): 581.38kJ/kg 比热容(25℃，101.325kPa): 2160.389 J/(kg·℃) 蒸气压(10℃): 0.588kPa (20℃): 1.120Kpa (60℃): 9.133kPa 着火点: 室温 毒性级别: 3 易燃性级别: 3 易爆性级别: 3 三甲基铝在常温常压下为无色透明液体。反应性极强。空气中自燃，瞬间就能着火。与具有活性氢的酒精类、酸类激烈反应。与水反应激烈，即使在冷水中也能产生爆炸性分解反应，并生成甲烷，有时还能发火。在300℃时缓慢分解产生甲烷。与AsH3、PH3、醚类、叔胺及其它路易士碱形成稳定的络合物。能与己烷、庚烷等脂肪烃及甲苯、二甲苯等芳香族烃以任意比例混溶。用烃系溶剂烯释到25%以下的三甲基铝失去其自燃性。 三甲基铝与一些物质混合接触时的危险性如下表所示: 混合接触危 险物质名称 化学式 危险等级 摘要 氯酸钠 NaClO3 A 高氯酸钠 NaClO4 A 过氧化氧 H2O2 A 过氧化钠 Na2O2 B 硝酸铵 NH4NO3 A 硝酸钠 NaNO3 A 高锰酸钾 KMnO4 A 氯苯 C6H5Cl B 有激烈反应的危险 硝酸 HNO3 A 硫酸 H2SO4 A 三氧化铬 CrO3 A 亚氯酸钠 NaClO2 A 溴酸钠 NaBrO3 A 重铬酸钾 K2Cr2O7 B 四氯化碳 CCl4 B 有爆炸的危险性 生产方法 ①碘甲烷和金属铝反应。 ②二甲基银和铝作用。 ③参见三异丁基铝。 烷基铝都是无色液体，商品以20%烃类溶液供应。贮运时可用己烷、庚烷、苯、甲苯等烃类作为溶剂。空气中自燃。遇水、氧化剂、卤代烃、醇或其它含氧有机物都能起猛烈反应。加热至177~232℃时自行分解并放出相应的如乙烯、丙烯、丁烯等易燃性不饱和烃类气体。铝的有机化合物全部操作要在惰性气体(N2、Ar)中进行。20%的烃类溶液无自燃性，但在空气中仍发烟。这种溶液的闪点为所用溶剂的闪点。溢出溶液与空气作用放出的反应热能使溶剂挥发，增加其着火危险。 毒性特征 最高容许浓度:0.5 mg/m 三甲基铝接触皮肤能引起组织破坏和烧伤。因为三甲基铝太活泼，它不可能以其原形直接吸人体内。它在空气中自燃时发出对人体有害的氧化铝烟雾。这种烟雾能刺激和腐蚀眼、皮肤和呼吸道粘膜。人吸入后气管和肺受损伤，严重时能引起肺水肿。 遇到吸入氧化铝烟雾的患者，应立即转移至无污染区，安置休息并保持温暖和舒适，并速请医诊治。眼睛和皮肤接触后，立即用大量水充分冲洗后就医。进入口内时立即漱口并急送医院抢救。 铝的有机化合物，其毒性决定于它的分解产物。急性中毒时出现对眼和上呼吸道的刺激作用、抑制神经系统(无麻醉作用)、降低耗氧量、大脑和内脏充血、肺气肿，严重染毒能引起死亡。烷基铝对人的不幸事件大多与火灾和烧伤有关。死亡病例发生在中毒后36~72小时。参见四乙基铅的毒性部分。 安全防护 工作时必须穿戴氯乙烯或氯丁橡胶防护服，皮或者尼龙的手套，高腰胶靴，护目镜，防毒(酸性气体用)口罩等。工作场所要通风，保持环境空气新鲜干燥。用钢瓶盛装，液面要用N2、Ar等惰性气体保护。在保护气中的含水及含氧量均应小于20PPm。钢瓶要存放在室外阴凉干燥之处，或易燃液体专用库内，要远离火种、热源、可燃物及能与三甲基铝反应的物质。电气设备必须有防火花装置。库温要低于30℃，相对湿度在75%以下。 有机金属化合物一般没有腐蚀性，可以用碳钢、不锈钢、铜、青铜、黄铜、镍等通用金属材料，但是不能用铅、镁、锡、锌和铝。可用聚四氟乙烯、含聚四氟乙烯或碳的石棉、聚三氟氯乙烯聚合体、聚氯乙烯、聚乙烯、聚丙烯等。 三甲基铝等烷基铝一接触空气就着火，而且还没有有效的灭火方法，所以灭火是比较困难的。着火时，一般的对策是先切断所有火源，隔绝其它可燃物，用干粉、干砂、二氧化碳、砾石等来控制火势，使火灾不蔓延到别处。绝不能使用泡沫及四氯化碳等卤代烃灭火剂。 当三甲基铝泄漏时，首先要切断所有的火源，然后用不燃性分散剂制成的乳剂刷洗。如果没有分散剂，可用干燥砂土吸收后拿到空旷处掩埋，或者用苏打粉混合泄漏液后放在空旷处的大钢盘上，上面用废木料或纸盖住，并在严格监督下烧掉。受污染的地面要用肥皂或洗涤剂洗刷，洗水经稀释后排入废水系统。 有机铝化合物可用煤油、汽油及其它碳氢化合物慢慢地洗涤。对于弱的有机铝溶液，只用水洗。但是在碳氢化合物溶液中使用有机铝化合物时，要防止有机铝化合物着火

具有氮化镓量子点的紫外LED的外延结构及其生长方法实施方式

实施例1 1、缓冲层的生长MOCVD反应室温度升至600℃，压力为100托，同时通入三甲基铝（150毫升/分钟）和NH₃，生长10分钟，在蓝宝石衬底（Al₂O₃）上发生反应，生成厚度为50纳米的GaN缓冲层；2、非掺杂层的生长经过10分钟，将温度升高到1200℃，压力降至50托，通入氢气、三甲基镓（65毫升/分钟）、三甲基铝（300毫升/分钟）和NH₃，生长120分钟，铝镓氮晶核在金颗粒底部形成并长大，AlGaN横向生长，生成厚度为2微米非掺杂的AlGaN层，Al含量为75％；3、N型掺杂层的生长反应室温度升高至1250℃，压力保持50毫托，通入氢气、三甲基镓（80毫升/分钟）、三甲基铝（300毫升/分钟）和氨气，生长90分钟，生成厚度为1500纳米的N型AlGaN层，Al含量为75％，N型GaN的掺杂浓度为1×1019个厘米-3；4、多量子阱结构的生长a.将反应室温度降至1000℃，压力为50毫托，通入氢气、三甲基镓（20毫升/分钟），三甲基铝（60毫升/分钟）和氨气，掺入Si杂质，生长2分钟，生成厚度为12纳米的掺杂AlGaN量子垒，掺杂浓度为1×1018个厘米-3，Al含量为60％；b.1000℃，压力为50毫托，通入氢气、三甲基镓（10毫升/分钟），三甲基铝（40毫升/分钟）和氨气，此层不掺Si，生长0.75分钟，生成厚度为3纳米的AlGaN量子阱层，Al含量为50％；c.将反应室温度降至900℃，压力为50毫托，通入氢气、三甲基镓（10毫升/分钟）和氨气，生长5秒，生长厚度为5个原子层级的GaN量子点；d.重复进行a-c共13个循环，形成13个周期的量子阱结构，即Q＝13，M＝1；5、电子阻挡层的生长将反应室温度提高到1100℃，压力为50托，通入氢气、三甲基镓（17毫升/分钟），三甲基铝（60毫升/分钟）和氨气，生长时间为15分钟，生成厚度为30纳米的AlGaN电子阻挡层，Al含量为70％；6、P型掺杂AlvGa1-vN层将温度降为950℃，压力调为200托，通入氢气、三甲基镓（40毫升/分钟），二茂镁（150毫升/分钟），氨气，生长25分钟，其中，Mg的掺杂浓度为5.5×1019个厘米-3，此层的厚度为150纳米；7、P型掺杂层的生长维持温度950℃，压力调为200托，通入氢气、三甲基镓（40毫升/分钟），二茂镁（450毫升/分钟），氨气，生长时间为1分钟，Mg的掺杂浓度为2×1020个厘米-3，生成厚度为5纳米的重掺P型GaN层。至此，完成该事实例的波长为255纳米的具有氮化镓量子点的紫外LED的外延结构的生长。图2为《具有氮化镓量子点的紫外LED的外延结构及其生长方法》实施例1中的紫外AlGaNLED外延结构。对该事实例的外延结构进行如下测试：1、将具有此外延结构的LED，制作成350微米×350微米芯片，通入20毫安的电流，工作电压为6.0伏，发光亮度为4兆瓦；2、具有此外延结构的紫外LED器件寿命为1万小时。 实施例2 1、缓冲层的生长MOCVD反应室温度升至600℃，压力为100托，同时通入三甲基铝（150毫升/分钟）和NH₃，生长10分钟，在蓝宝石衬底（Al₂O₃）上发生反应，生成厚度为50纳米的GaN缓冲层；2、非掺杂层的生长经过10分钟，将温度升高到1200℃，压力降至50托，通入氢气、三甲基镓（45毫升/分钟）、三甲基铝（300毫升/分钟）和NH3，生长120分钟，铝镓氮晶核在金颗粒底部形成并长大，AlGaN横向生长，生成厚度为2微米非掺杂的AlGaN层，Al含量为50％；3、N型掺杂层的生长反应室温度升高至1250℃，压力保持50毫托，通入氢气、三甲基镓（50毫升/分钟）、三甲基铝（300毫升/分钟）和氨气，生长90分钟，生成厚度为1500纳米的N型AlGaN层，Al含量为50％，N型GaN的掺杂浓度为1×1019个厘米-3；4、多量子阱结构的生长A.将反应室温度降至1000℃，压力为50毫托，通入氢气、三甲基镓（12毫升/分钟），三甲基铝（60毫升/分钟）和氨气，掺入Si杂质，生长2分钟，生成厚度为12纳米的掺杂AlGaN量子垒，掺杂浓度为1×1018个厘米-3，Al含量为35％；B.1000℃，压力为50毫托，通入氢气、三甲基镓（4毫升/分钟），三甲基铝（40毫升/分钟）和氨气，此层不掺Si，生长0.25分钟，生成厚度为1纳米的AlGaN量子阱层，Al含量为22％；C.将反应室温度降至900℃，压力为50毫托，通入氢气、三甲基镓（10毫升/分钟）和氨气，生长1秒，生长厚度为1个原子层级的GaN量子点；D.重复进行B-C共3个循环，形成AlxGa1-xN-GaN量子点/AlxGa1-xN-GaN量子点/AlxGa1-xN-GaN量子点的量子阱结构,即M＝3；E.重复进行A-D共8个循环，形成8个周期的量子阱结构，即Q＝8；5、电子阻挡层的生长将反应室温度提高到1100℃，压力为50毫托，通入氢气、三甲基镓（12毫升/分钟），三甲基铝（60毫升/分钟）和氨气，生长时间为15分钟，生成厚度为30纳米的AlGaN电子阻挡层，Al含量为50％；6、P型掺杂AlvGa1-vN层的生长将温度降为950℃，压力调为200托，通入氢气、三甲基镓（40毫升/分钟），二茂镁（150毫升/分钟），氨气，生长15分钟，其中，Mg的掺杂浓度为5.5×1019个厘米-3，此层的厚度为90纳米；7、P型掺杂层的生长维持温度950℃，压力调为200托，通入氢气、三甲基镓（40毫升/分钟），二茂镁（450毫升/分钟），氨气，生长时间为1分钟，Mg的掺杂浓度为2×1020个厘米-3，生成厚度为5纳米的重掺P型GaN层。至此，完成该事实例的波长为310纳米的具有氮化镓量子点的紫外LED的外延结构的生长，图3为《具有氮化镓量子点的紫外LED的外延结构及其生长方法》实施例2中的紫外AlGaNLED外延结构。对该事实例的外延结构进行如下测试：1、将具有此外延结构的LED，制作成350微米×350微米芯片，通入20毫安的电流，工作电压为6.0伏，发光亮度为4兆瓦；2、具有此外延结构的紫外LED器件寿命为1万小时。

TMA基本概述:

三甲基铝Aluminium trimethyt，Trinethyluminium，TMA 分子式:[(CH3)3Al]2 性质:无色液体，熔点15℃。 沸点126℃。闪点-18℃。密度0.752g/cm3。

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