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在电力电子行业的发展过程中,半导体技术起到了决定性作用。其中,功率半导体器件一直被认为是电力电子设备的关键组成部分。随着电力电子技术在工业、医疗、交通、消费等行业的广泛应用,功率半导体器件直接影响着这些电力电子设备的成本和效率。自从二十世纪五十年代真空管被固态器件代替以来,以硅(Si)材料为主的功率半导体器件就一直扮演着重要的角色。功率双极性晶体管及晶闸管的问世,大大减小的电力电子设备的体积重量,同时提高了变换效率。为了满足更高工作频率及更高功率等级的要求,IR(International Rectifier)公司研发出首款功率MOSFET,接下来的二十年,功率半导体器件进入一个蓬勃发展的时期,很多新型的功率器件,比如IGBT、GTO、IPM相继问世,并且在相关领域内得到越来越广泛的应用。功率硅器件的应用已经相当成熟,但随着日益增长的行业需求,硅器件由于其本身物理特性的限制,已经开始不适用于一些高压、高温、高效率及高功率密度的应用场合。
半导体技术一直是推动电力电子行业发展的决定性力量。功率硅器件(silicon,Si)的应用已经相当成熟,但随着日益增长的行业需求,硅器件由于其本身物理特性的限制,已经开始不适用于一些高压、高温、高效率及高功率密度的应用场合。
碳化硅(SiC)材料因其优越的物理特性,开始受到人们的关注和研究。自从碳化硅1824年被瑞典科学家Jöns Jacob Berzelius发现以来,直到二十世纪五十年代后半期,才真正被纳入到固体器件的研究中来。 二十世纪九十年代以来,碳化硅技术得到了迅速发展。
20 世纪90 年代以来,碳化硅(silicon carbide,SiC)MOSFET 技术的迅速发展,引起人们对这种新一代功率器件的广泛关注[2-4]。与Si 材料相比,碳化硅材料较高的热导率决定了其高电流密度的特性,较高的禁带宽度又决定了SiC 器件的高击穿场强和高工作温度[5-6]。尤其在SiC MOSFET 的开发与应用方面,与相同功率等级的Si MOSFET 相比,SiC MOSFET 导通电阻、开关损耗大幅降低,适用于更高的工作频率,另由于其高温工作特性,大大提高了高温稳定性。但由于SiC MOSFET 的价格相当昂贵,限制了它的广泛应用。
SiC材料与目前应该广泛的Si材料相比,较高的热导率决定了其高电流密度的特性,较高的禁带宽度又决定了SiC器件的高击穿场强和高工作温度。其优点主要可以概括为以下几点:
1) 高温工作
SiC在物理特性上拥有高度稳定的晶体结构,其能带宽度可达2.2eV至3.3eV,几乎是Si材料的两倍以上。因此,SiC所能承受的温度更高,一般而言,SiC器件所能达到的最大工作温度可到600 ºC。
2) 高阻断电压
与Si材料相比,SiC的击穿场强是Si的十倍多,因此SiC器件的阻断电压比Si器件高很多。
3) 低损耗
一般而言,半导体器件的导通损耗与其击穿场强成反比,故在相似的功率等级下,SiC器件的导通损耗比Si器件小很多。且SiC器件导通损耗对温度的依存度很小,SiC器件的导通损耗 随温度的变化很小,这与传统的Si器件也有很大差别。
4) 开关速度快
SiC的热导系数几乎是Si材料的2.5倍,饱和电子漂移率是Si的2倍,所以SiC器件能在更高的频率下工作。
综合以上优点,在相同的功率等级下,设备中功率器件的数量、散热器的体积、滤波元件体积都能大大减小,同时效率也有大幅度的提升。
在SiC MOSFET的开发与应用方面,与相同功率等级的Si MOSFET相比,SiC MOSFET导通电阻、开关损耗大幅降低,适用于更高的工作频率,另由于其高温工作特性,大大提高了高温稳定性。1200V功率等级下,各类功率器件的特性比较结果,参与比较的SiC MOSFET是GE12N15L。需要指出的是,这些功率器件都为TO-247封装,且IPW90R120C3耐压仅为900V,但它已是所能找到的相似功率等级下,特性较好的Si MOSFET。
虽然SiC MOSFET比传统的Si MOSFET有很多优点,但其昂贵的价格却限制了SiC MOSFET的广泛应用。近年来随着SiC技术的成熟,SiC MOSFET的价格已经有了显著的下降,应用范围也进一步扩展,在不久的将来必将成为新一代主流的低损耗功率器件。 在实际的工程应用及设计开发过程中,经常需要对SiC MOSFET的开关特性、静态特性及功率损耗进行分析,以便对整个系统的效率做有效的评估。因此,有必要建立一个精确的SiC MOSFET模型作为工程应用中系统分析和效率评估的基础。近年来,国内外研究人员对于SiC MOSFET的建模研究日渐深入,取得了较多的进展。其中部分文献着重于SiC MOSFET物理特性的建模,但不适用于工程应用中的分析和评估。部分文献采用了传统Si MOSFET的建模思想,一篇弗吉尼亚理工的硕士毕业论文,对1200V20A的SiC MOSFET进行建模,但该模型仅在分立的温度点下设置分立的参数组,其他温度点进行线性插值,模型随温度变化时的准确度不能保证。北卡罗来纳州立大学的王军博士提出了一种适用于10kV SiC MOSFET的变温度参数建模方法,对SiC MOSFET的建模具有普遍的指导意义,已得到业界比较广泛的认可和接受,Rohm公司也相继推出了600V及1200V的SiC MOSFET。因此,建立一个适用于目前主流中低压SiC MOSFET的模型就显得尤为重要。
由于SiC MOSFET器件特性与传统的Si MOSFET有较大差别,SiC MOSFET驱动电路也是一项研究的重点。相比于Si MOSFET,SiC MOSFET的寄生电容更小。以量产的CMF20120D 为例, 其输 入 电 容仅 有1915 pF, 但 与 其功 率 等 级 相 同 的 Si MOSFET IXFB30N120P的输入电容有22.5nF,两者相差超过十倍。因此,SiC MOSFET对驱动电路的寄生参数更敏感。另一方面,目前量产的SiC MOSFET的驱动电压范围为 -5V~ 25V ,建议驱动电压一般为-2V/ 20V;而传统的Si MOSFET的驱动电压范围为-30V~ 30V,建议驱动电压一般为0/ 15V。因此,SiC MOSFET与传统的Si MOSFET相比,安全阈值很小,驱动电路的一个电压尖峰很可能就会击穿GS之间的氧化层,这也是驱动电路需要精心设计的另一个原因。
量产的SiC MOSFET设计了专用的驱动芯片。另一家SiCMOSFET也提供了关于驱动的相关资料。CMF20120D技术手册上提供的驱动电路,采用光耦隔离,驱动芯片采用IXDI414,-VEE与地之间需接入多个电容,以抵消线路感抗对驱动波形的影响。然而datasheet中并未给出 VCC和-VEE的电源解决方案,且IXDI414可提供14A的峰值电流,而实际应用过程中,驱动电路一般 很难从驱动芯片中抽取14A的电流,故这款驱动芯片并非很合适。
综上所述,结合SiC MOSFET本身的特点及优势,其驱动电路的设计应满足以下要求:
1) 满足SiC MOSFET高速开关的要求,使用驱动能力较强的驱动芯片。
2) 尽量减小驱动电路寄生电感的影响,在PCB布局时应加入适量的吸收电容。
3) 为保证SiC MOSFET的可靠关断,避免噪声干扰可能导致的误开通,应采用负压关断。
双有源桥(DAB)作为大功率隔离双向DC-DC变换器的一种,其拓扑最早由DeDoncker于1988年提出DAB主要应用于HEV中蓄电池侧与高压直流母线之间的双向能量传输、航空电源系统及新能源系统中,与其他大功率隔离双向DC-DC变换器相比,DAB的最大优势是其功率密度大,且体积重量相对较小。DAB结构对称,两边各由全桥结构的拓扑构成,可实现能量的双向传输,且能实现两侧的电气隔离。开关管应力较低,且没有额外的滤波电感,仅通过变压器的漏感作为能量传输单元,变换器可实现很高的功率密度。电流纹波不是很大,对输入输出侧的滤波电容的要求不是很高。DAB在一定功率范围内可以实现ZVS软开关,这样DAB的工作频率就可以设置得较高,可进一步减小变压器和滤波电容的体积,提高功率密度。
传统的DAB一般采用移相控制,其中φ为移相角,变压器原副边匝比设为n。当功率从VL流向VH时,开关管Q1、Q4超前Q5、Q8;当功率从VH流向VL时,开关管Q5、Q8超前Q1、Q4。但传统控制策略下的DAB有诸多问题,比如软开关范围窄、轻载时功率回流现象严重、电压输入范围窄等。
功率回流
功率回流是指DAB在功率传输时,电感Ls上的电流和原边侧电压存在相位相反的阶段,导致功率流回电源中。
输入电压范围
结合软开关范围和功率回流的分析,不难看出传统移相控制DAB的又一个缺点:输入电压范围窄。当DAB中变压器原副边匝数比n确定后,如果输入电压V1范围变化较宽,则原副边电压d的变化范围较宽,软开关的范围将受到严重限制,直接影响到变换器的效率。同样的,当输入电压范围变宽后,意味着移相角的变化范围也必须相应变宽,较宽的电压范围必然会导致功率回流现象更严重。因此,为保证DAB能有较高的转换效率,双有源桥的输入必须控制在较小范围内。
针对传统控制策略下 DAB 的诸多不足,从 2008 年起,国内外很多研究人员相继提出了多种改进型的控制策略,对 DAB 的研究也进入了一个新的高度。改进型控制方法的主要思想是,不仅原副边的开关管移相(即传统控制方法,Q1、Q4及 Q5Q8有移相角 D2),而且同一侧桥臂也设置移相角(Q1Q2Q3Q4存在移相 D1)。这些控制方式又能细分,有一侧桥臂设置内移相角 D1,另一侧桥臂仍用传统的移相方法,不设置内移相角;或者原副边都移相,均设置D1,但两侧的内移相角 D1可能不同。又根据 D1与 D2的大小关系,另结合 V1与 nV2的关系,有很多种不同的组合方式,从而有不一样的模态。其最终的控制手段还是通过改变变压器原副边的电压波形,从而改变加在 LS两端的电压,最终改变 LS的电流,达到不同的优化目的。
通过改变内移相角 D1,可以改变变压器两端电压 V1或 V2的波形,V1与 V2 9 的不同(包括幅值大小及相位差),即可达到控制 LS电流的目的,从而对软开关范围、功率回流等问题有所改善。
有文献较系统地介绍了以上一些不同的控制方法,推导了部分控制模式下的数学模型。该文献主要针对的是 ZVS 范围及电感电流有效值来提高效率。文献中提出,对于两端口的DAB,两侧桥臂都设置移相角 D1的控制方法优势并不明显。对于这种两侧都移相的控制方法在多端口的情况下还要做进一步分析。
有文献针对功率回流的问题提出了改进的控制方法,该文献采用的是两侧桥臂都移相的控制方法,不仅原副边的 Q1Q2和 Q5Q6存在移相,同侧桥臂的 Q1Q2和 Q3Q4也存在移相。这种控制方法的复杂之处在于,输出功率是同时与 D1D2相关的,在同一个输出功率下D1D2有很多种组合方式。如何通过 PI 调节获得最优化的 D1D2组合是控制策略优化的关键。文献中论述了在某些特性条件下,这种两侧移相的控制方法可以使功率回流为零,并论证了该特殊条件下可以实现全负载范围的软开关,动态特性较传统移相控制方法更优。 解读词条背后的知识
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引言
碳化硅功率器件近年来越来越广泛应用于工业领域,受到大家的喜爱,不断地推陈出新,大量的更高电压等级、更大电流等级的产品相继推出,市场反应碳化硅元器件的效果非常好,但似乎对于碳化硅元器件的普及还有一些技术难题。
碳化硅mos对比硅mos的11大优势
1SiC器件的结构和特征
Si材料中,越是高耐压器件其单位面积的导通电阻就越大(通常以耐压值的大概2-2.5次方的比例增加),因此600V以上的电压中主要采用IGBT(绝缘栅极双极型晶体管)。IGBT通过电导率调制,向漂移层内注入作为少数载流子的空穴,因此导通电阻比MOSFET还要小,但是同时由于少数载流子的积聚,在关断时会产生尾电流,从而造成极大的开关损耗。
SiC器件漂移层的阻抗比Si器件低,不需要进行电导率调制就能够以高频器件结构的MOSFET实现高耐压和低阻抗。而且MOSFET原理上不产生尾电流,所以用SiC MOSFET替代IGBT时,能够明显地减少开关损耗,并且实现散热部件的小型化。另外,SiC MOSFET能够在IGBT不能工作的高频条件下驱动,从而也可以实现被动器件的小型化。与600V~1200V的Si MOSFET相比,SiC MOSFET的优势在于芯片面积小(可以实现小型封装),而且体二极管的恢复损耗非常小。
2SiC Mosfet的导通电阻
SiC 的绝缘击穿场强是Si 的10倍,所以能够以低阻抗、薄厚度的漂移层实现高耐压。因此,在相同的耐压值的情况下,SiC 可以得到标准化导通电阻(单位面积导通电阻)更低的器件。例如900V时,SiC‐MOSFET 的芯片尺寸只需要Si‐MOSFET 的35分之1、SJ‐MOSFET 的10分之1,就可以实现相同的导通电阻。不仅能够以小封装实现低导通电阻,而且能够使门极电荷量Qg、结电容也变小。目前SiC 器件能够以很低的导通电阻轻松实现1700V以上的耐压。因此,没有必要再采用IGBT这种双极型器件结构(导通电阻变低,则开关速度变慢) ,就可以实现低导通电阻、高耐压、快速开关等各优点兼备的器件。
3Vd-Id特性
SiC‐MOSFET 与IGBT 不同,不存在开启电压,所以从小电流到大电流的宽电流范围内都能够实现低导通损耗。而Si MOSFET 在150℃时导通电阻上升为室温条件下的2 倍以上,与Si MOSFET 不同,SiC MOSFET的上升率比较低,因此易于热设计,且高温下的导通电阻也很低。
4驱动门极电压和导通电阻
SiC‐MOSFET 的漂移层阻抗比Si MOSFET 低,但是另一方面,按照现在的技术水平,SiC MOSFET的MOS 沟道部分的迁移率比较低,所以沟道部的阻抗比Si 器件要高。因此,越高的门极电压,可以得到越低的导通电阻(Vgs=20V 以上则逐渐饱和)。如果使用一般IGBT 和Si MOSFET 使用的驱动电压Vgs=10~15V 的话,不能发挥出SiC 本来的低导通电阻的性能,所以为了得到充分的低导通电阻,推荐使用Vgs=18V左右进行驱动。Vgs=13V 以下的话,有可能发生热失控,请注意不要使用。
5Vg-Id特性
SiC MOSFET 的阈值电压在数mA 的情况下定义的话,与Si‐MOSFET 相当,室温下大约3V(常闭)。但是,如果流通几个安培电流的话,需要的门极电压在室温下约为8V 以上,所以可以认为针对误触发的耐性与IGBT 相当。温度越高,阈值电压越低。
6Turn-On特性
SiC‐MOSFET 的Turn‐on 速度与Si IGBT 和Si MOSFET 相当,大约几十ns。但是在感性负载开关的情况下,由通往上臂二极管的回流产生的恢复电流也流过下臂,由于各二极管性能的偏差,从而产生很大的损耗。Si FRD 和Si MOSFET 中的体二极管的通常恢复电流非常大,会产生很大的损耗,而且在高温下该损耗有进一步增大的趋势。与此相反,SiC二极管不受温度影响,可以快速恢复,SiC MOSFET 的体二极管虽然Vf 较高但是与碳化硅二极管相同,具有相当的快速恢复性能。通过这些快速恢复性能,可以减少Turn‐on 损耗(Eon)好几成。开关速度极大程度上决定于外部的门极电阻Rg。为了实现快速动作,推荐使用几Ω左右的低阻值门极电阻。另外还需要考虑到浪涌电压,选择合适的门极电阻。
7Turn-Off特性
SiC MOSFET 的最大特点是原理上不会产生如IGBT中经常见到的尾电流。SiC 即使在1200V 以上的耐压值时也可以采用快速的MOSFET 结构,所以,与IGBT 相比,Turn‐off 损耗(Eoff)可以减少约90%,有利于电路的节能和散热设备的简化、小型化。而且,IGBT 的尾电流会随着温度的升高而增大,而SiC‐MOSFET 几乎不受温度的影响。另外,由于较大的开关损耗引起的发热会致使结点温度(Tj)超过额定值,所以IGBT 通常不能在20KHz 以上的高频区域内使用,但SiC MOSFET 由于Eoff 很小,所以可以进行50KHz 以上的高频开关动作。通过高频化,可以使滤波器等被动器件小型化。
8内部门极电阻
芯片内部门极电阻与门极电极材料的薄层阻抗和芯片尺寸相关。如果是相同的设计,芯片内部门极电阻与芯片尺寸呈反比例,芯片尺寸越小,门极电阻越大。SiC MOSFET 的芯片尺寸比Si 器件小,虽然结电容更小,但是同时门极电阻也就更大。
9门极驱动电路
SiC MOSFET 是一种易于驱动、驱动功率较少的常闭型、电压驱动型的开关器件。基本的驱动方法和IGBT 以及Si MOSFET一样。推荐的驱动门极电压,ON 侧时为+18V 左右,OFF 侧时为0V。在要求高抗干扰性和快速开关的情况下,也可以施加‐3~‐5V 左右的负电压。当驱动大电流器件和功率模块时,推荐采用缓冲电路。
10体二极管的 Vf 和逆向导通
与Si MOSFET 一样,SiC MOSFET体内也存在因PN结而形成的体二极管(寄生二极管)。但是由于SiC的带隙是Si的3倍,所以SiC MOSFET的PN二极管的开启电压大概是3V左右,比较大,而且正向压降(Vf)也比较高。以往,当Si MOSFET外置回流用的快速二极管时,由于体二极管和外置二极管的Vf大小相等,为了防止朝向恢复慢的体二极管侧回流,必须在MOSFET上串联低电压阻断二极管,这样的话,既增加了器件数量,也使导通损耗进一步恶化。然而,SiC MOSFET的体二极管的Vf 比回流用的快速二极管的Vf还要高出很多,所以当逆向并联外置二极管时,不需要串联低压阻断二极管。
体二极管的Vf比较高,这一问题可以通过如同整流一样向门极输入导通信号使其逆向导通来降低。逆变驱动时,回流侧的臂上多数是在死区时间结束之后输入门极导通信号(请确认使用中的CPU的动作),体二极管的通电只在死区时间期间发生,之后基本上是经由沟道逆向流过。因此,即使在只由MOSFET(无逆向并联的SBD)构成的桥式电路中,体二极管的Vf较高也没有问题。
11体二极管的恢复特性
SiC MOSFET的体二极管虽然是PN 二极管,但是少数载流子寿命较短,所以基本上没有出现少数载流子的积聚效果,与SBD 一样具有超快速恢复性能(几十ns)。因此Si MOSFET的体二极管与IGBT外置的FRD相比,其恢复损耗可以减少到IGBT外置的FRD的几分之一到几十分之一。体二极管的恢复时间与SBD相同,是恒定的,不受正向输入电流If的影响(dI/dt 恒定的情况下)。在逆变器应用中,即使只由MOSFET 构成桥式电路,也能够实现非常小的恢复损耗,同时还预期可以减少因恢复电流而产生的噪音,达到降噪。
从以上这些方面就能看出SiC MOSFET相对于Si IGBT和MOSFET的优势所在。
碳化硅mos的技术难点
综合各种报道,难题不在芯片的原理设计,特别是芯片结构设计解决好并不难。难在实现芯片结构的制作工艺。当然对于用户最直接的原因是,SiC MOSFET 的价格相对较高。
举例如下:
1掺杂工艺有特殊要求。如用扩散方法进行惨杂,碳化硅扩散温度远高于硅,此时掩蔽用的SiO2层已失去了掩蔽作用,而且碳化硅本身在这样的高温下也不稳定,因此不宜采用扩散法掺杂,而要用离子注入掺杂。如果p型离子注入的杂质使用铝。由于铝原子比碳原子大得多,注入对晶格的损伤和杂质处于未激活状态的情况都比较严重,往往要在相当高的衬底温度下进行,并在更高的温度下退火。这样就带来了晶片表面碳化硅分解、硅原子升华的问题。目前,p型离子注入的问题还比较多,从杂质选择到退火温度的一系列工艺参数都还需要优化。
2欧姆接触的制作。欧姆接触是器件电极引出十分重要的一项工艺。在碳化硅晶片上制造金属电极,要求接触电阻低于10- 5Ωcm2,电极材料用Ni和Al可以达到,但在100℃ 以上时热稳定性较差。采用Al/Ni/W/Au复合电极可以把热稳定性提高到600℃、100h ,不过其接触比电阻高达10- 3Ωcm2 。所以要形成好的碳化硅的欧姆接触比较难。
3配套材料的耐温。碳化硅芯片可在600℃温度下工作,但与其配套的材料就不见得能耐此高温。例如,电极材料、焊料、外壳、绝缘材料等都限制了工作温度的提高。
以上仅举数例,不是全部。还有一些工艺问题还没有理想的解决办法,如碳化硅半导体表面挖槽工艺、终端钝化工艺、栅氧层的界面态对碳化硅MOSFET器件的长期稳定性影响方面,行业中还有没有达成一致的结论等,影响了碳化硅功率器件的快速发展。
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MOSFET驱动器是一款高频高电压栅极驱动器,可利用一个同步 DC/DC 转换器和高达 100V 的电源电压来驱动两个 N 沟道 MOSFET。强大的驱动能力降低了具高栅极电容 MOSFET 中的开关损耗。针对两个与电源无关的输入进行配置。高压侧输入逻辑信号在内部被电平移位至自举电源,此电源可以在高出地电位达 114V 的电压条件下运行。
碳化硅砖http://www.rewell.net是以碳化硅为主要原料,将高纯度碳化硅粉及高活性碳化硅微分混炼,经注浆成型后在高温下真空烧结使其再结晶的高档耐火砖。
碳化硅砖的主要含量是SiC,含量在72%-99%。碳化硅砖因结合方式不同,所应用的行业及热工设备也有差别。瑞沃碳化硅砖生产厂家按结合方式不同分为粘土结合、塞隆结合、氧化铝结合、自结合、高铝结合、氮化硅结合等等。碳化硅砖的用途有哪些?主要应用在什么地方?
碳化硅砖因使用原料为碳化硅,碳化硅又名金刚砂,是使用石英砂、焦炭、木屑等原料经电炉高温冶炼而成。碳化硅由于化学性能稳定、导热系数高、热膨胀系数小、耐磨性好,常用于制作高级耐火材料。
碳化硅砖利用碳化硅的耐腐蚀、耐高温、强度大、导热性好、抗冲击等特性加工制作冶炼高温炉衬,并应用于多种高温热工设备。
碳化硅砖用途
碳化硅砖因结合方式不同,它的用途也略有差异,碳化硅砖主要用途就是作为热工设备的内衬,可根据热工设备使用部位采用不同的结合方式加工制作不同规格的碳化硅制品,如碳化硅板、碳化硅环等。
碳化硅砖应用
碳化硅砖在冶金行业中,主要应用于铝合金冶炼的熔铝炉、鼓风炉的二次风口砖等;在电力行业中,主要应用于锅炉,作为锅炉燃烧室喷口;在生活垃圾处理行业中,应用于垃圾焚烧炉。