四探针法通常用来测量半导体的电阻率。四探针法测量电阻率有个非常大的优点，它不需要校准;有时用其它方法测量电阻率时还用四探针法校准。

与四探针法相比，传统的二探针法更方便些，因为它只需要操作两个探针，但是处理二探针法得到的数据却很复杂。如图一，电阻两端有两个探针接触，每个接触点既测量电阻两端的电流值，也测量了电阻两端的电压值。我们希望确定所测量的电阻器的电阻值，总电阻值:

RT = V/I = 2RW + 2RC + RDUT;

其中RW是导线电阻，RC是接触电阻，RDUT是所要测量的电阻器的电阻，显然用这种方法不能确定RDUT的值。矫正的办法就是使用四点接触法，即四探针法。如图二，电流的路径与图一中相同，但是测量电压使用的是另外两个接触点。尽管电压计测量的电压也包含了导线电压和接触电压，但由于电压计的内阻很大，通过电压计的电流非常小，因此，导线电压与接触电压可以忽略不计，测量的电压值基本上等于电阻器两端的电压值。

通过采用四探针法取代二探针法，尽管电流所走的路径是一样的，但由于消除掉了寄生压降，使得测量变得精确了。四探针法在Lord Kelvin使用之后，变得十分普及，命名为四探针法。

数字式四探针测试仪是运用四探针测量原理的多用途综合测量设备。该仪器按照单晶硅物理测试方法国家标准并参考美国 A.S.T.M 标准

而设计的，专用于测试半导体材料电阻率及方块电阻(薄层电阻)的专

用仪器。仪器由主机、测试台、四探针探头、计算机等部分组成，测

量数据既可由主机直接显示，亦可由计算机控制测试采集测试数据到

计算机中加以分析，然后以表格，图形方式统计分析显示测试结果。