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三甲基氯硅烷(分子式:(CH3)3SiCl),也称氯化三甲基硅烷、氯代三甲基硅烷、三甲基一氯硅烷,室温下为无色液体,是卤代硅烷的一种,在有机合成中有很多用途。它在无水情况下稳定,但遇水即分解,生成六甲基二硅氧烷和盐酸。由氯甲烷与硅粉在氯化亚铜存在下反应并精馏提纯获得,也可由亲核性甲基试剂如甲基锂与四氯化硅发生亲核取代反应制得。