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甲基三氯硅烷(methyltrichlorosilane;methyl silicochloroform ,缩写为MTS)甲基三氯硅烷别名甲基硅仿;三氯甲基硅烷 分子式 CH3Cl3Si;CH3SiCl3 ;甲基三氯硅烷外观与性状是无色液体,具有刺鼻恶臭,易潮解。