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集成电路测试仪是对集成电路进行测试的专用仪器设备。集成电路测试是保证集成电路性能、质量的关键手段之一。集成电路测试技术是发展集成电路产业的三大支撑技术之一,因此,集成电路测试仪作为一个测试门类受到很多国家的高度重视。40年来,随着集成电路发展到第四代,集成电路测试仪也从最初测试小规模集成电路发展到测试中规模、大规模和超大规模集成电路,到了八十年代,超大规模集成电路测试仪进入全盛时期。