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气体计量在现代工业生产过程中占有重要地位，一方面，新工艺和新技术等制约其发展的关键领域的突破，尤其是微电子技术的迅速发展，使微量气体计量由机械式向智能化、模块化方向发展，其应用范围得到了极大的扩展;另一方面，随着环境监测、航空航天等应用领域对气体计量准确度要求的不断提高，对气体计量可靠校准和溯源的研究越来越受到重视。
超微量气体流量计适用于检测微小气体流量，在精密半导体产业、气体泄漏探测、真空镀膜等领域有着广泛的应用。
