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音速小孔是稀释式CEMS的重要元件,其工作原理是:当孔板前后存在一定压差,流体流经孔板,对于一定的孔径,流经孔板的流量随着压差增大而增大。但当压差超过某一数值(称为临界压差)时,流体通过孔板缩孔处的流速达到音速,这时,无论压差如何增加,只要孔板上游的压力保持一定,流经孔板的流量将维持在一定数值而不再增加。