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纳米电子器件

2018/06/1955 作者:佚名
导读:纳米电子器件指利用纳米级加工和制备技术,如光刻、外延、微细加工、自组装生长及分子合成技术等,设计制备而成的具有纳米级尺度和特定功能的电子器件。

纳米电子器件指利用纳米级加工和制备技术,如光刻、外延、微细加工、自组装生长及分子合成技术等,设计制备而成的具有纳米级尺度和特定功能的电子器件。

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