基本原理，简单的来说是:是用直流电机，微型泵一般都是用直流电机，交流电的电机体积做不了很小的。
微型直流真空泵主要是利用电机的圆周运动，通过机械装置使泵内部的隔膜做往复式运动，从而对固定容积的泵腔内的空气进行压缩、拉伸形成真空(负压)，在泵抽气口处与外界大气压产生压力差，在压力差的作用下，将气体压(吸)入泵腔，再从排气口排出。
虽然原理较简单，但要达到工业级的稳定性和可靠性，实现起来却有很大的难度。比如为了维持稳定的真空度，对泵的气密性等有很高的要求，在特殊的工艺和高科技技术保证下，微型真空泵的气密性可以做的比较高，有个数据可供参考: 10^-7PaM^3/S(10的负7次方帕立方米每秒)。可满足一些客户对气密性要求较高的应用:如实验室稀有气体的分析、检验、循环等。
