透明导电膜玻璃(概述),根据用户的不同需求,主要分为以下三种类型:
1)、ZnO基TCO薄膜:ZnO的光学禁带宽度约为3.2 eV,对可见光的透明性很好,Zn的蕴藏丰富,无毒,价格便宜,比ITO更容易蚀刻。因此,近十几年来,ZnO已成为TCO薄膜的热门研究材料,被期待成为平板显示器中ITO薄膜的替代材料。本项目的掺杂ZnO薄膜的性能已可以与ITO薄膜相比,并解决了大面积高速均匀成膜工艺等问题。
2)、多元TCO薄膜: 开发适合特殊用途的TCO薄膜,将各种TCO材料进行组合,制备出一些具有新特点的TCO薄膜。由TCO材料组合构成的多元TCO薄膜,可以通过改变组分而调整薄膜的电学、光学、化学和物理性质,从而获得单一TCO材料所不具备的性能,满足某些特殊场合的需要。
3)、高迁移率TCO薄膜:在吸收不是非常严重的情况下,TCO薄膜对可见光的吸收是随着自由载流子浓度的增大而增大,但随着载流子迁移率的增大而减小,TCO薄膜的透明区域波长上限主要由载流子浓度确定,随着它的增大而减小,故采用提高载流子迁移率的方法来降低TCO薄膜的电阻率不必牺牲其光学性能。对于电子器件或导线,载流子迁移率是确定其响应速度和功耗的主要因素之一。本项目也可提供一种IMO薄膜的透明导电膜技术,其可见光平均透射率(含1.2 mm厚玻璃基底)超过80%,电阻率低至1.7×10Ω.cm。