光开关从制造工艺来分类,可分成微光机电MEMS系统方式开关和非微光机电系统方式开关。前者,主要又分为三个小类:
电磁驱动光纤:
有利用电磁线圈来驱动光纤的光纤驱动,在光纤外涂有一层磁性膜,在关闭时候,给线圈通电,从而使得光纤移动,开通时候,利用永磁铁将光纤吸引回去;
硅载物台驱动光纤:
有利用硅载物台移动来选择导通光路的开关,载物台滑板用导向槽及光纤固定用V型槽是用单晶硅各向异性蚀刻来 制成。传统技术是在载物台上堆积磁性膜,利用永磁铁使其滑动到目标位置,以便导通光路;现在,有采用光刻技术来制造线圈图样(coil pattern)的做法。
三维反射镜旋转式光纤:
有利用三维反射镜旋转方式,来导通或关闭光纤光路的
透镜驱动开关:
利用透镜的移动(垂直光轴方向的移动)来改变光路方向,焦距、移动量和光偏角度之间有关系;
平面型波导
除洛伦兹力外,还有静电力;
泡驱动:利用热毛细现象,喷墨方式;
微反射镜的取送方式;与光纤类似,有多种方式;
MARS,机械抗放射开关;
光栅光阀,GLV;
可以改变衍射光栅栅距离;
主要有:
棱镜驱动开关,用棱镜的微小移动来切换电路;
EO电光效应开关,由电场改变折射率切换电路;
TO热光效应与干涉的应用:利用马赫-曾德尔干涉;
利用等离子体效应开关;
MO磁光效应开关:利用磁场来改变偏振光方向;