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全书共分10章,包括现代精密仪器设计概论、精密仪器设计方法、仪器精度设计与分析、精密机械系统、传感检测技术、光学系统设计、微位移技术、机械伺服系统设计、精密测量技术、精密仪器设计实例与实验。
本书可作为测控技术与仪器、光学工程以及机电类专业大专院校教材,也可供从事仪器科学与技术及机电类研究、设计、制造、调修的工程技术人员学习和参考。