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一氧化硅微粉末因极富有活性,可作为精细陶瓷合成原料,如氮化硅、碳化硅精细陶瓷粉末原料。用作光学玻璃和半导体材料的制备在真空中将其蒸发,涂在光学仪器用的金属反射镜面上,作为保护膜。半导体材料的制备。