"氮化硅陶瓷"是以硅粉为原料，分别采用反应烧结和热压两种工艺方法制造而成。第一种方法是，先把硅粉制作所需生坯，然后在1200℃的高温中让其与氮气初步氮化。初步氮化了的毛坯经过修制加工后，再放在1350-1450℃的高温下进行第二次氮化，从而制出了氮化硅陶瓷。这种方法叫做反应烧结氮化硅。用这一方法制出的陶瓷器件有个特点，即不会收缩，精度很高。第二种方法是先把硅粉氮化做成氮化硅粉末，再加入少量的氧化镁，置于模具里，在1700-1800℃的高温下施加二、三百个大气压力热压而成。后者是气孔率接近于零的致密陶瓷，前者则含有较多气孔。
