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三硅化钨的制取可以通过钨和硅反应制取，制取过程的化学方程式5W+3Si→W5Si3，制取过程如下所示:
a、取钨粉和硅粉按照摩尔比5∶3混合均匀;
b、将钨硅混合粉末装入一个密封的球磨罐中，抽一定压力的真空后充入氩气，进行一段时间的球磨;
c、对球磨后的粉末在室温下氩气气氛中静置一段时间;
d、对在氩气气氛中静置后的粉末在一定范围内加温一段时间保护气氛、或在一定压力的真空中进行退火处理，获得三硅化五钨粉末。
