高功率紫外线准分子激光器提供了从100mJ到1000mJ的能量，光子能量到达5eV、6.3eV、7.9eV，使得用于激光微加工更具弹性。事实上，准分子激光器做到了每种资料的准确加工，高分辨率资料切除时不须过后处置。准分子光子无上转换请求，准分子激光器能够直接输出。数百瓦的功率输出容易获得，并能得到高消费率，加强了工艺才能。

更重要的是可反复的消费带来了时间和空间上持续稳定的脉冲和采样能量的平均，这种特性招致了准分子激光器的优越性能，超越其他脉冲激光源，比方泵浦Nd：YAG激光器。

脉冲动摇小于1%，这个在频率脉冲变换Nd：YAG激光系统中很难做到的。另外，大型平顶准分子激光器的外形十分合适于高效的二维或三维微观构造。紧凑微加工概念合适于资料消融和外表激活，这些在报告中将被引见。 

准分子紫外光源的选择

光源由频率为10千周、强度为25千伏/厘米的正弦波电场激励，功耗约10瓦。介质用二片厚度为0.22毫米的玻璃片。放电发射的真空紫外辐射的波长为125纳米。谱带半值宽度为10纳米。光源辐射面积为0.3×10毫米，厚度为10毫米。光源面积正好能和光谱仪的入射狭缝相匹配。这种光源有望于用作次级真空紫外标准光源。光源辐射的最大光谱辐亮度仅为0.2千瓦/厘米2纳米立体角。而在该波长处1千瓦微型壁稳氩弧（常见次级紫外标准光源）的光谱辐亮度仅为0.2千瓦/厘米2纳米立体角。

介质阻挡放电的准分子辐射机理可以理解如下。在介质阻挡的微放电中吗，平均能量为几个电子伏特的电子有效地激发了氩原子。这些处于激发态的氩原子与周围氩原子碰撞复合成被激发的氩准分子。这种过程通常是发生在较高气压的条件下的，所以本光源要求在气压为1大气压下工作。当被激发的准分子向下跃迁到基态时会发射波长范围较宽的紫外辐射。它会很快地分解成氩原子。因此即使在较高气压下，这种光源不会发生辐射的自然吸收现象，光效是高的。

可见介质阻挡放电准分子紫外光源结构简单，容易制造，而且具有形式多样可变，输出波长可以选择、波长覆盖面大、光效高、光谱纯等特点。可以预见这类新的紫外光源的出现和发展将促使光化学、光物理过程在高技术中得越来越多的应用。发展这种光源成为大面积照明光源也将是可能的。